激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2010年
5期
661-664,716
,共5页
王国超%颜树华%高雷%谢学东%田震
王國超%顏樹華%高雷%謝學東%田震
왕국초%안수화%고뢰%사학동%전진
测量与计量%位移%光栅%干涉条纹
測量與計量%位移%光柵%榦涉條紋
측량여계량%위이%광책%간섭조문
介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处.同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力.在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向.
介紹瞭經典雙光柵測量繫統、非對稱雙級閃耀光柵測量繫統、單光柵測量繫統、基于2次莫爾條紋的光柵測量繫統、同心圓光柵2維位移測量繫統、2維光柵位移測量繫統的測量原理,闡述瞭各繫統的關鍵問題及不足之處.同時結閤雙頻激光榦涉儀外差榦涉思想,在單光柵測量繫統的基礎上,提齣瞭雙波長單光柵式納米級位移測量方法,併通過分析繫統特點指齣該方法能實現大量程測量、穫得納米級的精度和分辨力.在對各種測量方法進行綜閤比較之後,總結瞭光柵測量的關鍵問題,併展望瞭光柵榦涉位移測量的未來髮展方嚮.
개소료경전쌍광책측량계통、비대칭쌍급섬요광책측량계통、단광책측량계통、기우2차막이조문적광책측량계통、동심원광책2유위이측량계통、2유광책위이측량계통적측량원리,천술료각계통적관건문제급불족지처.동시결합쌍빈격광간섭의외차간섭사상,재단광책측량계통적기출상,제출료쌍파장단광책식납미급위이측량방법,병통과분석계통특점지출해방법능실현대량정측량、획득납미급적정도화분변력.재대각충측량방법진행종합비교지후,총결료광책측량적관건문제,병전망료광책간섭위이측량적미래발전방향.
