CAJ | 학술논문

万方数据

核聚变与等离子体物理 핵취변여등리자체물리
NUCLEAR FUSION AND PLASMA PHYSICS
2010年 4期 312-316 ,共5页

赵成利%孙伟中%刘华敏%张浚源%吕晓丹%秦尤敏%宁建平%贺平逆%潘宇东%苟富均

조성리%손위중%류화민%장준원%려효단%진우민%저건평%하평역%반우동%구부균

分子动力学%碳氢薄膜%再沉积%碳薄膜分子動力學%碳氫薄膜%再沉積%碳薄膜
분자동역학%탄경박막%재침적%탄박막

利用分子动力学方法模拟了碳原子与碳氢薄膜的作用过程.探讨了不同入射能量对碳原子与碳氢薄膜相互作用的影响.模拟结果表明碳原子与碳氢薄膜作用会在表面形成碳薄膜.随着入射能量的增加,碳薄膜厚度变薄.在碳薄膜中碳原子的成键形式主要为Csp2-Csp2和Csp2-Csp3,随入射能量的增加,碳原子键价结合形式从Csp2-Csp2向Csp2-Csp3转化.
이용분자동역학방법모의료탄원자여탄경박막적작용과정.탐토료불동입사능량대탄원자여탄경박막상호작용적영향.모의결과표명탄원자여탄경박막작용회재표면형성탄박막.수착입사능량적증가,탄박막후도변박.재탄박막중탄원자적성건형식주요위Csp2-Csp2화Csp2-Csp3,수입사능량적증가,탄원자건개결합형식종Csp2-Csp2향Csp2-Csp3전화.