功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2011年
3期
237-241
,共5页
王怀义%刁训刚%王聪%郝维昌%王天民
王懷義%刁訓剛%王聰%郝維昌%王天民
왕부의%조훈강%왕총%학유창%왕천민
射频磁控溅射%增磁装置%沉积速率%薄膜结钩
射頻磁控濺射%增磁裝置%沉積速率%薄膜結鉤
사빈자공천사%증자장치%침적속솔%박막결구
为提高射频溅射成膜率,本文报道了一种配置于磁控溅射装置的射频(RF)增磁装置.基于此装置的实验结果表明,在不对原有装置作任何改动的情况下,在完全相同的溅射参数下,采用此装置可使射频溅射成膜率增大为原来的4倍左右.进而,该装置提供了一种能有效地节省溅射制备时间,改善薄膜结构的简便易行的新型手段.
為提高射頻濺射成膜率,本文報道瞭一種配置于磁控濺射裝置的射頻(RF)增磁裝置.基于此裝置的實驗結果錶明,在不對原有裝置作任何改動的情況下,在完全相同的濺射參數下,採用此裝置可使射頻濺射成膜率增大為原來的4倍左右.進而,該裝置提供瞭一種能有效地節省濺射製備時間,改善薄膜結構的簡便易行的新型手段.
위제고사빈천사성막솔,본문보도료일충배치우자공천사장치적사빈(RF)증자장치.기우차장치적실험결과표명,재불대원유장치작임하개동적정황하,재완전상동적천사삼수하,채용차장치가사사빈천사성막솔증대위원래적4배좌우.진이,해장치제공료일충능유효지절성천사제비시간,개선박막결구적간편역행적신형수단.
