中国表面工程
中國錶麵工程
중국표면공정
CHINA SURFACE ENGINEERING
2011年
3期
17-22
,共6页
王永军%李红轩%吉利%刘晓红%吴艳霞%周惠娣%陈建敏
王永軍%李紅軒%吉利%劉曉紅%吳豔霞%週惠娣%陳建敏
왕영군%리홍헌%길리%류효홍%오염하%주혜제%진건민
类石墨碳膜%磁控溅射%摩擦磨损
類石墨碳膜%磁控濺射%摩抆磨損
류석묵탄막%자공천사%마찰마손
利用非平衡磁控溅射技术在单晶硅基底上沉积了类石墨非晶碳膜.利用X射线光电子光谱、Raman光谱、高分辨透射电子显微镜及原子力显微镜对沉积薄膜的微观结构进行了详细表征;利用纳米压痕仪和球盘摩擦试验机分别对其力学性能和摩擦学性能进行了测试.结果表明,当前制备的非晶碳膜中sp2杂化碳占主导呈现出类石墨特征,但薄膜硬度可达14.2 GPa.大气环境中的摩擦性能测试表明,所制备的类石墨非晶薄膜具有优异的摩擦学性能:其承载能力高达2.8 GPa,同时具有较低摩擦因数(～0.05)和磨损率(～10-111cm3/Nm).类石墨碳膜优异的摩擦学性能主要归因于其独特的结构、较低的内应力及良好的热稳定性.
利用非平衡磁控濺射技術在單晶硅基底上沉積瞭類石墨非晶碳膜.利用X射線光電子光譜、Raman光譜、高分辨透射電子顯微鏡及原子力顯微鏡對沉積薄膜的微觀結構進行瞭詳細錶徵;利用納米壓痕儀和毬盤摩抆試驗機分彆對其力學性能和摩抆學性能進行瞭測試.結果錶明,噹前製備的非晶碳膜中sp2雜化碳佔主導呈現齣類石墨特徵,但薄膜硬度可達14.2 GPa.大氣環境中的摩抆性能測試錶明,所製備的類石墨非晶薄膜具有優異的摩抆學性能:其承載能力高達2.8 GPa,同時具有較低摩抆因數(～0.05)和磨損率(～10-111cm3/Nm).類石墨碳膜優異的摩抆學性能主要歸因于其獨特的結構、較低的內應力及良好的熱穩定性.
이용비평형자공천사기술재단정규기저상침적료류석묵비정탄막.이용X사선광전자광보、Raman광보、고분변투사전자현미경급원자력현미경대침적박막적미관결구진행료상세표정;이용납미압흔의화구반마찰시험궤분별대기역학성능화마찰학성능진행료측시.결과표명,당전제비적비정탄막중sp2잡화탄점주도정현출류석묵특정,단박막경도가체14.2 GPa.대기배경중적마찰성능측시표명,소제비적류석묵비정박막구유우이적마찰학성능:기승재능력고체2.8 GPa,동시구유교저마찰인수(～0.05)화마손솔(～10-111cm3/Nm).류석묵탄막우이적마찰학성능주요귀인우기독특적결구、교저적내응력급량호적열은정성.
