传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
12期
4-7
,共4页
李晶%樊尚春%李成%余朝发
李晶%樊尚春%李成%餘朝髮
리정%번상춘%리성%여조발
谐振式微机械加速度计%谐振敏感元件%谐振频率%灵敏度
諧振式微機械加速度計%諧振敏感元件%諧振頻率%靈敏度
해진식미궤계가속도계%해진민감원건%해진빈솔%령민도
谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器,是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的.该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点,己成为微传感器的重要发展方向之一.汇总了该传感器的国内外相关研究现状,并对加工工艺进行了总结,讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素,并给出了未来的发展方向.
諧振式硅微機械加速度計作為一種新型的對加速度進行測量的傳感器,是通過檢測加速度施加前後諧振敏感元件諧振頻率變化實現對加速度檢測的.該傳感器具有頻率信號輸齣、穩定性好、靈敏度高、精度高等優點,己成為微傳感器的重要髮展方嚮之一.彙總瞭該傳感器的國內外相關研究現狀,併對加工工藝進行瞭總結,討論瞭諧振式硅微加速度計設計中的關鍵技術因素,併給齣瞭未來的髮展方嚮.
해진식규미궤계가속도계작위일충신형적대가속도진행측량적전감기,시통과검측가속도시가전후해진민감원건해진빈솔변화실현대가속도검측적.해전감기구유빈솔신호수출、은정성호、령민도고、정도고등우점,기성위미전감기적중요발전방향지일.회총료해전감기적국내외상관연구현상,병대가공공예진행료총결,토론료해진식규미가속도계설계중적관건기술인소,병급출료미래적발전방향.
