人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2012年
1期
238-242,252
,共6页
滕冉%戴小林%徐文婷%肖清华%周旗钢
滕冉%戴小林%徐文婷%肖清華%週旂鋼
등염%대소림%서문정%초청화%주기강
硅单晶%数值模拟%热屏%固液界面
硅單晶%數值模擬%熱屏%固液界麵
규단정%수치모의%열병%고액계면
通过对28英寸热场生长300 mm硅单晶过程中结晶速率、固液界面形状、晶体中热应力及晶体中氧含量的数值计算提出了在该热场条件下热屏的优化方案.数值计算结果表明:对热屏底端与晶体表面和熔体自由液面的距离以及热屏材料(优化前热屏使用单一石墨材料,优化后采用辐射率较高的内壁材料结合反射率较高的外壁材料组成复合式热屏)的优化可以减少主加热器对晶体的热辐射使得固液界面更加平坦,藉此增加结晶速率,减小晶体内热应力和熔体中氧含量.
通過對28英吋熱場生長300 mm硅單晶過程中結晶速率、固液界麵形狀、晶體中熱應力及晶體中氧含量的數值計算提齣瞭在該熱場條件下熱屏的優化方案.數值計算結果錶明:對熱屏底耑與晶體錶麵和鎔體自由液麵的距離以及熱屏材料(優化前熱屏使用單一石墨材料,優化後採用輻射率較高的內壁材料結閤反射率較高的外壁材料組成複閤式熱屏)的優化可以減少主加熱器對晶體的熱輻射使得固液界麵更加平坦,藉此增加結晶速率,減小晶體內熱應力和鎔體中氧含量.
통과대28영촌열장생장300 mm규단정과정중결정속솔、고액계면형상、정체중열응력급정체중양함량적수치계산제출료재해열장조건하열병적우화방안.수치계산결과표명:대열병저단여정체표면화용체자유액면적거리이급열병재료(우화전열병사용단일석묵재료,우화후채용복사솔교고적내벽재료결합반사솔교고적외벽재료조성복합식열병)적우화가이감소주가열기대정체적열복사사득고액계면경가평탄,자차증가결정속솔,감소정체내열응력화용체중양함량.
