制造技术与机床
製造技術與機床
제조기술여궤상
MANUFACTURING TECHNOLOGY & MACHINE TOOL
2012年
9期
77-81
,共5页
胡长德%符鹏%闵和平%毛安定%邓小林
鬍長德%符鵬%閔和平%毛安定%鄧小林
호장덕%부붕%민화평%모안정%산소림
测量与计量%纳米定位%微动转台%压电陶瓷%柔性机构
測量與計量%納米定位%微動轉檯%壓電陶瓷%柔性機構
측량여계량%납미정위%미동전태%압전도자%유성궤구
介绍了一种基于尺蠖原理的回转式步进压电微动转台.借助柔性机械结构,将压电陶瓷的微位移以角度方式输送出来.在结构设计方面,采用柔性铰链放大结构,夹紧器和驱动器均采用双驱动器结构,实现推-拉接力运动.配以适当的四路驱动信号,实现了压电微动转台的单步、多步连续匀速转动.最后对样机进行了实验测试.实验结果表明,所设计的压电步进微动转台结构紧凑、分辨力高且运动稳定.同时,动体没有缠绕,使得驱动器可以在任意位置启动,并可在360°范围内连续匀速转动.在频率为5 Hz、幅值为30 V驱动电压下测得最小步距小于3”,在频率为40 Hz幅值为160 V的驱动电压下速度达到430.4″/S.
介紹瞭一種基于呎蠖原理的迴轉式步進壓電微動轉檯.藉助柔性機械結構,將壓電陶瓷的微位移以角度方式輸送齣來.在結構設計方麵,採用柔性鉸鏈放大結構,夾緊器和驅動器均採用雙驅動器結構,實現推-拉接力運動.配以適噹的四路驅動信號,實現瞭壓電微動轉檯的單步、多步連續勻速轉動.最後對樣機進行瞭實驗測試.實驗結果錶明,所設計的壓電步進微動轉檯結構緊湊、分辨力高且運動穩定.同時,動體沒有纏繞,使得驅動器可以在任意位置啟動,併可在360°範圍內連續勻速轉動.在頻率為5 Hz、幅值為30 V驅動電壓下測得最小步距小于3”,在頻率為40 Hz幅值為160 V的驅動電壓下速度達到430.4″/S.
개소료일충기우척확원리적회전식보진압전미동전태.차조유성궤계결구,장압전도자적미위이이각도방식수송출래.재결구설계방면,채용유성교련방대결구,협긴기화구동기균채용쌍구동기결구,실현추-랍접력운동.배이괄당적사로구동신호,실현료압전미동전태적단보、다보련속균속전동.최후대양궤진행료실험측시.실험결과표명,소설계적압전보진미동전태결구긴주、분변력고차운동은정.동시,동체몰유전요,사득구동기가이재임의위치계동,병가재360°범위내련속균속전동.재빈솔위5 Hz、폭치위30 V구동전압하측득최소보거소우3”,재빈솔위40 Hz폭치위160 V적구동전압하속도체도430.4″/S.
