华南师范大学学报（自然科学版）
華南師範大學學報（自然科學版）
화남사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SOUTH CHINA NORMAL UNIVERSITY （NATURAL SCIENCE EDITION）
2006年
3期
59-64
,共6页
张茂平%陈俊芳%蒙高庆%向鹏飞%史磊%赖秀琼
張茂平%陳俊芳%矇高慶%嚮鵬飛%史磊%賴秀瓊
장무평%진준방%몽고경%향붕비%사뢰%뢰수경
氮化钛%顶部感应耦合等离子体源%朗缪尔双探针%电子束蒸发镀膜
氮化鈦%頂部感應耦閤等離子體源%朗繆爾雙探針%電子束蒸髮鍍膜
담화태%정부감응우합등리자체원%랑무이쌍탐침%전자속증발도막
采用TCP等离子体辅助电子束蒸发沉积技术,在室温条件下的玻璃基片上制备了纳米结构的氮化钛薄膜. 运用X衍射技术对该薄膜进行表征. 利用朗缪尔静电双探针诊断了蒸发镀膜装置反应室内等离子体密度及分析其分布规律,并分析了气压和功率对等离子体分布的影响. 结果表明:离子源源口等离子体密度较大且分布不均匀;反应室内等离子体迅速扩散,密度变小且分布趋于均匀.
採用TCP等離子體輔助電子束蒸髮沉積技術,在室溫條件下的玻璃基片上製備瞭納米結構的氮化鈦薄膜. 運用X衍射技術對該薄膜進行錶徵. 利用朗繆爾靜電雙探針診斷瞭蒸髮鍍膜裝置反應室內等離子體密度及分析其分佈規律,併分析瞭氣壓和功率對等離子體分佈的影響. 結果錶明:離子源源口等離子體密度較大且分佈不均勻;反應室內等離子體迅速擴散,密度變小且分佈趨于均勻.
채용TCP등리자체보조전자속증발침적기술,재실온조건하적파리기편상제비료납미결구적담화태박막. 운용X연사기술대해박막진행표정. 이용랑무이정전쌍탐침진단료증발도막장치반응실내등리자체밀도급분석기분포규률,병분석료기압화공솔대등리자체분포적영향. 결과표명:리자원원구등리자체밀도교대차분포불균균;반응실내등리자체신속확산,밀도변소차분포추우균균.
