功能材料与器件学报
功能材料與器件學報
공능재료여기건학보
JOURNAL OF FUNCTIONAL MATERIALS AND DEVICES
2006年
6期
474-478,488
,共6页
刘恩庆%王向晖%胡石琼%陈静
劉恩慶%王嚮暉%鬍石瓊%陳靜
류은경%왕향휘%호석경%진정
离子注入%反应磁控溅射%二氧化钛%银%显微结构
離子註入%反應磁控濺射%二氧化鈦%銀%顯微結構
리자주입%반응자공천사%이양화태%은%현미결구
不同剂量的银离子被注入到采用反应磁控溅射(RMS)制备出的TiO2薄膜中.实验发现,薄膜的成分以二氧化钛和单质银为主,薄膜中可以看到银的纳米晶颗粒.注入的银离子在薄膜中呈近高斯分布,分布峰随注入剂量的增加而向表层移动.银离子注入后原本致密平整的TiO2薄膜表面出现了沟壑和晶粒粗化现象,且均方根粗糙度随注入剂量的增加而增加.不同的注入剂量对薄膜的表面能没有明显的影响.
不同劑量的銀離子被註入到採用反應磁控濺射(RMS)製備齣的TiO2薄膜中.實驗髮現,薄膜的成分以二氧化鈦和單質銀為主,薄膜中可以看到銀的納米晶顆粒.註入的銀離子在薄膜中呈近高斯分佈,分佈峰隨註入劑量的增加而嚮錶層移動.銀離子註入後原本緻密平整的TiO2薄膜錶麵齣現瞭溝壑和晶粒粗化現象,且均方根粗糙度隨註入劑量的增加而增加.不同的註入劑量對薄膜的錶麵能沒有明顯的影響.
불동제량적은리자피주입도채용반응자공천사(RMS)제비출적TiO2박막중.실험발현,박막적성분이이양화태화단질은위주,박막중가이간도은적납미정과립.주입적은리자재박막중정근고사분포,분포봉수주입제량적증가이향표층이동.은리자주입후원본치밀평정적TiO2박막표면출현료구학화정립조화현상,차균방근조조도수주입제량적증가이증가.불동적주입제량대박막적표면능몰유명현적영향.
