CAJ | 학술논문

在基于UV-LIGA 技术的大高宽比微细结构的加工技术中,接近式紫外光刻工艺会因衍射效应而使掩模图形在复制过程中产生图形失真,从而引起光刻胶结构的形状缺陷.对该衍射光场进行计算机仿真,预测光刻图形误差,可以为误差修正提供理论依据.运用快速傅里叶(FFT)方法对接近式曝光进行角谱计算,研究了FFT相关参数的选择依据和参数范围的确定原则,详细讨论了光刻机的照明机理对参数选择的影响.通过对先刻胶表面和内部的衍射光场分布的仿真计算,表明了该方法既具有好的计算精度,又具有计算速度快的明显优势.给出了与利用瑞利索末菲衍射公式进行的仿真计算的比较,两者的计算精度相差很小,但本方法的计算速度快了几十倍.由此表明,本FFT方法可以为在掩模设计阶段就预修正微结构图形,为获得理想的光刻胶图形的可制造设计(design for manufacture) 的工程实用化提供一种可行的途径.
재기우UV-LIGA 기술적대고관비미세결구적가공기술중,접근식자외광각공예회인연사효응이사엄모도형재복제과정중산생도형실진,종이인기광각효결구적형상결함.대해연사광장진행계산궤방진,예측광각도형오차,가이위오차수정제공이론의거.운용쾌속부리협(FFT)방법대접근식폭광진행각보계산,연구료FFT상관삼수적선택의거화삼수범위적학정원칙,상세토론료광각궤적조명궤리대삼수선택적영향.통과대선각효표면화내부적연사광장분포적방진계산,표명료해방법기구유호적계산정도,우구유계산속도쾌적명현우세.급출료여이용서리색말비연사공식진행적방진계산적비교,량자적계산정도상차흔소,단본방법적계산속도쾌료궤십배.유차표명,본FFT방법가이위재엄모설계계단취예수정미결구도형,위획득이상적광각효도형적가제조설계(design for manufacture) 적공정실용화제공일충가행적도경.