一重技术
一重技術
일중기술
CFHI TECHNOLOGY
2008年
6期
66-68
,共3页
双频激光干涉%差分放大
雙頻激光榦涉%差分放大
쌍빈격광간섭%차분방대
在双频激光干涉中拍频信号的高精度测量是双频激光干涉测量中的重要技术,广泛应用于精密机械、微电子加工等制造业的高速超精密测量场合.通过使用差分电路设计,提高了电路的抗干扰能力,有效地抑制了温度飘移,显著提高了信号的检测精度.
在雙頻激光榦涉中拍頻信號的高精度測量是雙頻激光榦涉測量中的重要技術,廣汎應用于精密機械、微電子加工等製造業的高速超精密測量場閤.通過使用差分電路設計,提高瞭電路的抗榦擾能力,有效地抑製瞭溫度飄移,顯著提高瞭信號的檢測精度.
재쌍빈격광간섭중박빈신호적고정도측량시쌍빈격광간섭측량중적중요기술,엄범응용우정밀궤계、미전자가공등제조업적고속초정밀측량장합.통과사용차분전로설계,제고료전로적항간우능력,유효지억제료온도표이,현저제고료신호적검측정도.
