电加工与模具
電加工與模具
전가공여모구
ELECTROMACHINING & MOULD
2009年
5期
35-38,43
,共5页
黄欢%杨立军%王懋露%王扬
黃歡%楊立軍%王懋露%王颺
황환%양립군%왕무로%왕양
紫外激光%蓝宝石晶圆%微槽
紫外激光%藍寶石晶圓%微槽
자외격광%람보석정원%미조
用355 mm紫外激光进行了蓝宝石晶圆的划切试验,通过改变激光的脉冲重复频率、入射能量密度和扫描速度,得到了多组微槽.对微槽的划切质量、深度和宽度进行检测和分析.结果表明,紫外激光划切蓝宝石晶圆能获得良好的微槽结构;不同的入射激光能量密度、脉冲重复频率和扫描速度对微槽的深度和宽度有不同的影响;晶圆表面粗糙度对微槽的划切质量影响很大.
用355 mm紫外激光進行瞭藍寶石晶圓的劃切試驗,通過改變激光的脈遲重複頻率、入射能量密度和掃描速度,得到瞭多組微槽.對微槽的劃切質量、深度和寬度進行檢測和分析.結果錶明,紫外激光劃切藍寶石晶圓能穫得良好的微槽結構;不同的入射激光能量密度、脈遲重複頻率和掃描速度對微槽的深度和寬度有不同的影響;晶圓錶麵粗糙度對微槽的劃切質量影響很大.
용355 mm자외격광진행료람보석정원적화절시험,통과개변격광적맥충중복빈솔、입사능량밀도화소묘속도,득도료다조미조.대미조적화절질량、심도화관도진행검측화분석.결과표명,자외격광화절람보석정원능획득량호적미조결구;불동적입사격광능량밀도、맥충중복빈솔화소묘속도대미조적심도화관도유불동적영향;정원표면조조도대미조적화절질량영향흔대.
