表面技术
錶麵技術
표면기술
SURFACE TECHNOLOGY
2010年
2期
28-30
,共3页
GLC薄膜%薄膜应力%偏压
GLC薄膜%薄膜應力%偏壓
GLC박막%박막응력%편압
采用磁控溅射离子镀技术制备了类石墨镀层(GLC),利用扫描电子显微镜(SEM)测量了镀层的厚度、X射线衍射仪(XRD)研究了材料的物相和应力,并结合透射电子显微镜(TEM)观察和分析了材料的组织结构.研究结果表明:不同偏压下得到的镀层结构相同,均为非晶为主的类石墨镀层,并且随着偏压增大,膜厚逐渐减小;在所研究的偏压下,应力变化规律是随着偏压的增加,样品与基体的复合应力先增大,后减小,其中-65V时达到最大值.
採用磁控濺射離子鍍技術製備瞭類石墨鍍層(GLC),利用掃描電子顯微鏡(SEM)測量瞭鍍層的厚度、X射線衍射儀(XRD)研究瞭材料的物相和應力,併結閤透射電子顯微鏡(TEM)觀察和分析瞭材料的組織結構.研究結果錶明:不同偏壓下得到的鍍層結構相同,均為非晶為主的類石墨鍍層,併且隨著偏壓增大,膜厚逐漸減小;在所研究的偏壓下,應力變化規律是隨著偏壓的增加,樣品與基體的複閤應力先增大,後減小,其中-65V時達到最大值.
채용자공천사리자도기술제비료류석묵도층(GLC),이용소묘전자현미경(SEM)측량료도층적후도、X사선연사의(XRD)연구료재료적물상화응력,병결합투사전자현미경(TEM)관찰화분석료재료적조직결구.연구결과표명:불동편압하득도적도층결구상동,균위비정위주적류석묵도층,병차수착편압증대,막후축점감소;재소연구적편압하,응력변화규률시수착편압적증가,양품여기체적복합응력선증대,후감소,기중-65V시체도최대치.
