稀有金属材料与工程
稀有金屬材料與工程
희유금속재료여공정
RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERNG
2011年
1期
115-120
,共6页
刘泓%甘卫平%黄波%刘继宇%李祥%郑峰
劉泓%甘衛平%黃波%劉繼宇%李祥%鄭峰
류홍%감위평%황파%류계우%리상%정봉
超级电容器%电极材料%复合薄膜%物相结构%直流-示差脉冲电沉积
超級電容器%電極材料%複閤薄膜%物相結構%直流-示差脈遲電沉積
초급전용기%전겁재료%복합박막%물상결구%직류-시차맥충전침적
采用直流.示差脉冲组合电沉积技术,以(Ru-Sn)Clx水溶液为沉积液,通过后续热处理工艺制备超级电容器用钽基(Ru-sn)O2·nH2O薄膜电极材料.借助扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)仪,X射线光电子能谱(XPS)和电化学分析仪,研究前驱体(Ru-Sn)Ck转化为(Ru-Sn)O2·nH2O的物相演变及其微观形貌和电容性能.结果表明:合适的热处理工艺能使前驱体(Ru-Sn)Clx转化为(Ru-Sn)O2·nH2O薄膜,提高薄膜与钽基体的附着力(达到12.3 MPa);在溶液中加入SnCl2能改善薄膜内部的结合力;随着SnCl2含量的增加,薄膜单位面积的质量增加;薄膜单位面积的电容量先升高后降低,最大值为1.9 F/cm2;而比电容则呈现单调下降趋势.
採用直流.示差脈遲組閤電沉積技術,以(Ru-Sn)Clx水溶液為沉積液,通過後續熱處理工藝製備超級電容器用鐽基(Ru-sn)O2·nH2O薄膜電極材料.藉助掃描電鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)儀,X射線光電子能譜(XPS)和電化學分析儀,研究前驅體(Ru-Sn)Ck轉化為(Ru-Sn)O2·nH2O的物相縯變及其微觀形貌和電容性能.結果錶明:閤適的熱處理工藝能使前驅體(Ru-Sn)Clx轉化為(Ru-Sn)O2·nH2O薄膜,提高薄膜與鐽基體的附著力(達到12.3 MPa);在溶液中加入SnCl2能改善薄膜內部的結閤力;隨著SnCl2含量的增加,薄膜單位麵積的質量增加;薄膜單位麵積的電容量先升高後降低,最大值為1.9 F/cm2;而比電容則呈現單調下降趨勢.
채용직류.시차맥충조합전침적기술,이(Ru-Sn)Clx수용액위침적액,통과후속열처리공예제비초급전용기용단기(Ru-sn)O2·nH2O박막전겁재료.차조소묘전경(SEM)、X사선연사(XRD)의,X사선광전자능보(XPS)화전화학분석의,연구전구체(Ru-Sn)Ck전화위(Ru-Sn)O2·nH2O적물상연변급기미관형모화전용성능.결과표명:합괄적열처리공예능사전구체(Ru-Sn)Clx전화위(Ru-Sn)O2·nH2O박막,제고박막여단기체적부착력(체도12.3 MPa);재용액중가입SnCl2능개선박막내부적결합력;수착SnCl2함량적증가,박막단위면적적질량증가;박막단위면적적전용량선승고후강저,최대치위1.9 F/cm2;이비전용칙정현단조하강추세.
