青岛科技大学学报（自然科学版）
青島科技大學學報（自然科學版）
청도과기대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF QINGDAO UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY(NATURAL SCIENCE EDITION)
2011年
6期
560-562
,共3页
董蓬超%范素华%张丰庆%陈杨
董蓬超%範素華%張豐慶%陳楊
동봉초%범소화%장봉경%진양
CSBT铁电薄膜%层层退火%择优取向%C-V特性
CSBT鐵電薄膜%層層退火%擇優取嚮%C-V特性
CSBT철전박막%층층퇴화%택우취향%C-V특성
利用sol-gel方法在SiO2/Si基板上制备了Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (CSBT)铁电薄膜,其中Si(100)为P型.利用XRD、SEM测试手段研究了CSBT铁电薄膜的结构与形貌,测试了Au/CSBT/SiO2/Si/Au结构的介电特性和C-V曲线.
利用sol-gel方法在SiO2/Si基闆上製備瞭Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (CSBT)鐵電薄膜,其中Si(100)為P型.利用XRD、SEM測試手段研究瞭CSBT鐵電薄膜的結構與形貌,測試瞭Au/CSBT/SiO2/Si/Au結構的介電特性和C-V麯線.
이용sol-gel방법재SiO2/Si기판상제비료Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15 (CSBT)철전박막,기중Si(100)위P형.이용XRD、SEM측시수단연구료CSBT철전박막적결구여형모,측시료Au/CSBT/SiO2/Si/Au결구적개전특성화C-V곡선.
