传感器技术
傳感器技術
전감기기술
JOURNAL OF TRANSDUCER TECHNOLOGY
2003年
5期
33-36
,共4页
罗秦川%张生才%姚素英%张为%曲宏伟
囉秦川%張生纔%姚素英%張為%麯宏偉
라진천%장생재%요소영%장위%곡굉위
压力传感器%多晶硅%热灵敏度漂移%灵敏系数%温度补偿
壓力傳感器%多晶硅%熱靈敏度漂移%靈敏繫數%溫度補償
압력전감기%다정규%열령민도표이%령민계수%온도보상
列举了几种多晶硅高温压力传感器的热灵敏度漂移补偿方法,并分别讨论了它们的原理及特点.对采用多晶硅热敏电阻器进行补偿的两种补偿方法进行了详细地分析和测试.实验表明,这两种补偿法更适用于多晶硅压力传感器.
列舉瞭幾種多晶硅高溫壓力傳感器的熱靈敏度漂移補償方法,併分彆討論瞭它們的原理及特點.對採用多晶硅熱敏電阻器進行補償的兩種補償方法進行瞭詳細地分析和測試.實驗錶明,這兩種補償法更適用于多晶硅壓力傳感器.
열거료궤충다정규고온압력전감기적열령민도표이보상방법,병분별토론료타문적원리급특점.대채용다정규열민전조기진행보상적량충보상방법진행료상세지분석화측시.실험표명,저량충보상법경괄용우다정규압력전감기.
