物理学报
物理學報
물이학보
2004年
5期
1433-1439
,共7页
刘运全%张杰%陈正林%彭晓昱
劉運全%張傑%陳正林%彭曉昱
류운전%장걸%진정림%팽효욱
软x射线平场谱仪%光路函数%光线追踪
軟x射線平場譜儀%光路函數%光線追蹤
연x사선평장보의%광로함수%광선추종
采用光线追踪和光路函数的方法,优化设计了具有超环面镜的前置光学系统的掠入射软x射线平场谱仪,得到了谱仪的谱分辨和空间分辨本领.波前像差理论和光线追踪程序得到结果均表明,优化设计后的软x射线平场谱仪系统在波长为4-45nm的光谱范围内具有很好谱分辨能力(λ/△λ＞1000)和空间分辨能力(优于40μm).
採用光線追蹤和光路函數的方法,優化設計瞭具有超環麵鏡的前置光學繫統的掠入射軟x射線平場譜儀,得到瞭譜儀的譜分辨和空間分辨本領.波前像差理論和光線追蹤程序得到結果均錶明,優化設計後的軟x射線平場譜儀繫統在波長為4-45nm的光譜範圍內具有很好譜分辨能力(λ/△λ＞1000)和空間分辨能力(優于40μm).
채용광선추종화광로함수적방법,우화설계료구유초배면경적전치광학계통적략입사연x사선평장보의,득도료보의적보분변화공간분변본령.파전상차이론화광선추종정서득도결과균표명,우화설계후적연x사선평장보의계통재파장위4-45nm적광보범위내구유흔호보분변능력(λ/△λ＞1000)화공간분변능력(우우40μm).
