真空
真空
진공
VACUUM
2005年
3期
11-14
,共4页
廖晓明%冉均国%苟立%苏葆辉%张进%何子博
廖曉明%冉均國%茍立%囌葆輝%張進%何子博
료효명%염균국%구립%소보휘%장진%하자박
金刚石薄膜%电阻率%表面形貌%形核工艺%辐射剂量计
金剛石薄膜%電阻率%錶麵形貌%形覈工藝%輻射劑量計
금강석박막%전조솔%표면형모%형핵공예%복사제량계
金刚石薄膜电阻率的高低是薄膜绝缘性能优劣的直观反映,也是影响辐射剂量计器件性能的重要因素.针对目前形核工艺与电阻率的关系还不十分清楚的问题.本文研究了微波等离子体形核阶段工艺参数如基片位置、微波功率、甲烷浓度的变化对金刚石薄膜的表面形貌和电阻率的影响.结果表明微波等离子体形核工艺参数对金刚石薄膜的电阻率和表面形貌有显著影响.获得的最佳成核工艺条件:基体温度960℃、甲烷浓度0.72%、压力5.3 kPa、微波功率1300 W.在此工艺条件下制得的金刚石薄膜的电阻率值达到1011 Ω·cm数量级.
金剛石薄膜電阻率的高低是薄膜絕緣性能優劣的直觀反映,也是影響輻射劑量計器件性能的重要因素.針對目前形覈工藝與電阻率的關繫還不十分清楚的問題.本文研究瞭微波等離子體形覈階段工藝參數如基片位置、微波功率、甲烷濃度的變化對金剛石薄膜的錶麵形貌和電阻率的影響.結果錶明微波等離子體形覈工藝參數對金剛石薄膜的電阻率和錶麵形貌有顯著影響.穫得的最佳成覈工藝條件:基體溫度960℃、甲烷濃度0.72%、壓力5.3 kPa、微波功率1300 W.在此工藝條件下製得的金剛石薄膜的電阻率值達到1011 Ω·cm數量級.
금강석박막전조솔적고저시박막절연성능우렬적직관반영,야시영향복사제량계기건성능적중요인소.침대목전형핵공예여전조솔적관계환불십분청초적문제.본문연구료미파등리자체형핵계단공예삼수여기편위치、미파공솔、갑완농도적변화대금강석박막적표면형모화전조솔적영향.결과표명미파등리자체형핵공예삼수대금강석박막적전조솔화표면형모유현저영향.획득적최가성핵공예조건:기체온도960℃、갑완농도0.72%、압력5.3 kPa、미파공솔1300 W.재차공예조건하제득적금강석박막적전조솔치체도1011 Ω·cm수량급.
