真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2008年
1期
83-86
,共4页
李静雷%郑凯波%沈浩（辶壬页）%邢晓艳%孙大林%陈国荣
李靜雷%鄭凱波%瀋浩（辶壬頁）%邢曉豔%孫大林%陳國榮
리정뢰%정개파%침호（착임혈）%형효염%손대림%진국영
氧化锌%纳米线%场效应管%频率响应
氧化鋅%納米線%場效應管%頻率響應
양화자%납미선%장효응관%빈솔향응
本文介绍了一种基于单根氧化锌纳米线场效应管的制备方法,用XRD和SEM分析了样品的结构和形貌,测试了它的输出特性曲线和转移特性曲线.当Vds=2 V时,测得场效应管的开启电压Vgt=-16.2 V;计算得到低频跨导gm=46.6nS.在Vgs=0 V时,测得一维ZnO纳米线的载流子浓度n=1.15×108 cm-1,电子迁移率μe=14.4 cm2/Vs,电导率σ=0.26 Ω-1 cm-1.该场效应管的上限截止频率fH=1585 Hz,漏源极间电容C=25.4 pF.本文还对基于单根氧化锌纳米线的场效应管的光电灵敏度和光电时间响应进行了测试分析.
本文介紹瞭一種基于單根氧化鋅納米線場效應管的製備方法,用XRD和SEM分析瞭樣品的結構和形貌,測試瞭它的輸齣特性麯線和轉移特性麯線.噹Vds=2 V時,測得場效應管的開啟電壓Vgt=-16.2 V;計算得到低頻跨導gm=46.6nS.在Vgs=0 V時,測得一維ZnO納米線的載流子濃度n=1.15×108 cm-1,電子遷移率μe=14.4 cm2/Vs,電導率σ=0.26 Ω-1 cm-1.該場效應管的上限截止頻率fH=1585 Hz,漏源極間電容C=25.4 pF.本文還對基于單根氧化鋅納米線的場效應管的光電靈敏度和光電時間響應進行瞭測試分析.
본문개소료일충기우단근양화자납미선장효응관적제비방법,용XRD화SEM분석료양품적결구화형모,측시료타적수출특성곡선화전이특성곡선.당Vds=2 V시,측득장효응관적개계전압Vgt=-16.2 V;계산득도저빈과도gm=46.6nS.재Vgs=0 V시,측득일유ZnO납미선적재류자농도n=1.15×108 cm-1,전자천이솔μe=14.4 cm2/Vs,전도솔σ=0.26 Ω-1 cm-1.해장효응관적상한절지빈솔fH=1585 Hz,루원겁간전용C=25.4 pF.본문환대기우단근양화자납미선적장효응관적광전령민도화광전시간향응진행료측시분석.
