CAJ | 학술논문

采用双离子束溅射方法在Si3N4/SiO2/Si基底表面沉积氧化钒薄膜,在氮气气氛下热处理获得二氧化钒薄膜.利用x射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和X射线光电子能谱(XPS)研究了热处理温度对氧化钒薄膜晶体结构、表面形貌和组分的影响,利用傅里叶变换红外光谱(FT-IR)对二氧化钒薄膜的红外透射性能进行了测试分析.结果表明,所制备的氧化钒薄膜以非晶态V2O5;和四方金红石结构VO2为主,经400℃、2 h热处理后获得了(011)择优取向的单斜金红石结构纳米VO2薄膜,提高热处理温度至450℃,纳米结构VO2薄膜的晶粒尺寸减小.FT-IR结果显示,纳米VO2薄膜透射率对比因子超过0.99,高温关闭状态下透射率接近0.小晶粒尺寸纳米VO2:薄膜更适合在热光开关器件领域应用.
채용쌍리자속천사방법재Si3N4/SiO2/Si기저표면침적양화범박막,재담기기분하열처리획득이양화범박막.이용x사선연사(XRD)、소묘전자현미경(SEM)화X사선광전자능보(XPS)연구료열처리온도대양화범박막정체결구、표면형모화조분적영향,이용부리협변환홍외광보(FT-IR)대이양화범박막적홍외투사성능진행료측시분석.결과표명,소제비적양화범박막이비정태V2O5;화사방금홍석결구VO2위주,경400℃、2 h열처리후획득료(011)택우취향적단사금홍석결구납미VO2박막,제고열처리온도지450℃,납미결구VO2박막적정립척촌감소.FT-IR결과현시,납미VO2박막투사솔대비인자초과0.99,고온관폐상태하투사솔접근0.소정립척촌납미VO2:박막경괄합재열광개관기건영역응용.