闽江学院学报
閩江學院學報
민강학원학보
JOURNAL OF MINJIANG UNIVERSITY
2010年
5期
22-25
,共4页
肖荣辉%林丽梅%郑明志%彭福川%郑冬梅
肖榮輝%林麗梅%鄭明誌%彭福川%鄭鼕梅
초영휘%림려매%정명지%팽복천%정동매
Cu2O%反应磁控溅射%结构%电学性质
Cu2O%反應磁控濺射%結構%電學性質
Cu2O%반응자공천사%결구%전학성질
用X射线衍射仪检测薄膜的结构;用分光光度计测量薄膜的透射率和反射率,采用拟合正入射透射谱数据的方法计算薄膜的厚度;用Van der Pauw方法测量薄膜表面电阻和霍尔迁移率,并计算出电阻率和载流子浓度.结果表明,生成单相Cu2O薄膜的氧气流量范围很小,在氧气流量为5-7sccm范围,薄膜主要成分为Cu2O,其中氧氩流量比为6:25时,生成单相多晶结构的Cu2O薄膜,其表面电阻0.68 MΩ/□,电阻率58.29Ω.cm,霍尔迁移率4.73cm2·V-1·s-1,载流子浓度3×1016cm-3.
用X射線衍射儀檢測薄膜的結構;用分光光度計測量薄膜的透射率和反射率,採用擬閤正入射透射譜數據的方法計算薄膜的厚度;用Van der Pauw方法測量薄膜錶麵電阻和霍爾遷移率,併計算齣電阻率和載流子濃度.結果錶明,生成單相Cu2O薄膜的氧氣流量範圍很小,在氧氣流量為5-7sccm範圍,薄膜主要成分為Cu2O,其中氧氬流量比為6:25時,生成單相多晶結構的Cu2O薄膜,其錶麵電阻0.68 MΩ/□,電阻率58.29Ω.cm,霍爾遷移率4.73cm2·V-1·s-1,載流子濃度3×1016cm-3.
용X사선연사의검측박막적결구;용분광광도계측량박막적투사솔화반사솔,채용의합정입사투사보수거적방법계산박막적후도;용Van der Pauw방법측량박막표면전조화곽이천이솔,병계산출전조솔화재류자농도.결과표명,생성단상Cu2O박막적양기류량범위흔소,재양기류량위5-7sccm범위,박막주요성분위Cu2O,기중양아류량비위6:25시,생성단상다정결구적Cu2O박막,기표면전조0.68 MΩ/□,전조솔58.29Ω.cm,곽이천이솔4.73cm2·V-1·s-1,재류자농도3×1016cm-3.
