传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2010年
8期
12-14
,共3页
努尔比亚·衣布拉音%海日沙·阿不来提%热扎克·卡地尔%阿布力孜·伊米提
努爾比亞·衣佈拉音%海日沙·阿不來提%熱扎剋·卡地爾%阿佈力孜·伊米提
노이비아·의포랍음%해일사·아불래제%열찰극·잡지이%아포력자·이미제
SnO2-La2O3复合膜%气敏元件%氯苯蒸气
SnO2-La2O3複閤膜%氣敏元件%氯苯蒸氣
SnO2-La2O3복합막%기민원건%록분증기
研制了掺有不同质量分数La2 O3的SnO2复合薄膜,并测定了该薄膜和各种挥发性有机物饱和蒸气接触前后的的吸光度变化,其中含有3.0%La2O3的SnO2薄膜在氯苯蒸气气氛中的吸光度变化较大.选用3.0%La2O3的SnO2复合薄膜作为敏感试剂固定在Sn掺杂玻璃光波导表面,研制出一种光波导气敏元件,并对氯苯蒸气进行了检测.室温下该敏感元件对于体积分数为4×10-6的氯苯蒸气有很明显响应.
研製瞭摻有不同質量分數La2 O3的SnO2複閤薄膜,併測定瞭該薄膜和各種揮髮性有機物飽和蒸氣接觸前後的的吸光度變化,其中含有3.0%La2O3的SnO2薄膜在氯苯蒸氣氣氛中的吸光度變化較大.選用3.0%La2O3的SnO2複閤薄膜作為敏感試劑固定在Sn摻雜玻璃光波導錶麵,研製齣一種光波導氣敏元件,併對氯苯蒸氣進行瞭檢測.室溫下該敏感元件對于體積分數為4×10-6的氯苯蒸氣有很明顯響應.
연제료참유불동질량분수La2 O3적SnO2복합박막,병측정료해박막화각충휘발성유궤물포화증기접촉전후적적흡광도변화,기중함유3.0%La2O3적SnO2박막재록분증기기분중적흡광도변화교대.선용3.0%La2O3적SnO2복합박막작위민감시제고정재Sn참잡파리광파도표면,연제출일충광파도기민원건,병대록분증기진행료검측.실온하해민감원건대우체적분수위4×10-6적록분증기유흔명현향응.
