传感器与微系统
傳感器與微繫統
전감기여미계통
TRANSDUCER AND MICROSYSTEM TECHNOLOGY
2011年
10期
120-122
,共3页
苏雷龙%蒋书波%程明霄%何野%徐波%李晟
囌雷龍%蔣書波%程明霄%何野%徐波%李晟
소뢰룡%장서파%정명소%하야%서파%리성
MEMS微镜%气体分析%便携式%近红外光谱仪
MEMS微鏡%氣體分析%便攜式%近紅外光譜儀
MEMS미경%기체분석%편휴식%근홍외광보의
根据传统近红外光谱仪的不足,利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路,并给出了仪器的设计框架,设计了仪器的上位机程序；利用单色仪和29.4％的甲烷气体样品和对样机进行测试,实验结果表明:在10 ～35℃内,仪器波长稳定性小于2nm,并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰.MEMS技术应用在近红外光谱仪中,对于气体检测是可行的,并且能够使仪器做到便携式.
根據傳統近紅外光譜儀的不足,利用MEMS微鏡設計瞭近紅外光譜儀的光路,併給齣瞭儀器的設計框架,設計瞭儀器的上位機程序；利用單色儀和29.4％的甲烷氣體樣品和對樣機進行測試,實驗結果錶明:在10 ～35℃內,儀器波長穩定性小于2nm,併能夠觀測到甲烷在1650 nm附近吸光度約為0.01的吸收峰.MEMS技術應用在近紅外光譜儀中,對于氣體檢測是可行的,併且能夠使儀器做到便攜式.
근거전통근홍외광보의적불족,이용MEMS미경설계료근홍외광보의적광로,병급출료의기적설계광가,설계료의기적상위궤정서；이용단색의화29.4％적갑완기체양품화대양궤진행측시,실험결과표명:재10 ～35℃내,의기파장은정성소우2nm,병능구관측도갑완재1650 nm부근흡광도약위0.01적흡수봉.MEMS기술응용재근홍외광보의중,대우기체검측시가행적,병차능구사의기주도편휴식.
