退火温度对Mo薄膜微观结构及形貌的影响
퇴화온도대Mo박막미관결구급형모적영향
Influence of Annealing Temperature on Microstructure and Morphology of Mo Films
  • 万方数据
    表面技术 표면기술
    SURFACE TECHNOLOGY
    2011年 6期 85-87,97 ,共4页

    曹德峰%邢丕峰%韦建军%易泰民%杨蒙生%郑凤成%李朝阳%谢军

    조덕봉%형비봉%위건군%역태민%양몽생%정봉성%리조양%사군

    Mo薄膜%微观应力%退火温度 Mo薄膜%微觀應力%退火溫度
    Mo박막%미관응력%퇴화온도
    采用直流磁控溅射技术,制备了厚度为3.8μm的Mo薄膜,并对其在不同温度下进行了退火处理.采用白光干涉仪和SEM对Mo薄膜进行了表征,讨论了不同温度对薄膜表面形貌的影响；利用XRD对M薄膜的结构进行了分析.结果表明:随着退火温度由450℃升高到1 050℃,晶粒平均尺寸逐渐增大,微曲应力呈减小趋势；在温度高于900℃时,薄膜发生再结晶,同时表面有微裂缝及大量气孔出现；薄膜的表面粗糙度随退火温度的升高有逐步增大的趋势.
    채용직류자공천사기술,제비료후도위3.8μm적Mo박막,병대기재불동온도하진행료퇴화처리.채용백광간섭의화SEM대Mo박막진행료표정,토론료불동온도대박막표면형모적영향；이용XRD대M박막적결구진행료분석.결과표명:수착퇴화온도유450℃승고도1 050℃,정립평균척촌축점증대,미곡응력정감소추세；재온도고우900℃시,박막발생재결정,동시표면유미렬봉급대량기공출현；박막적표면조조도수퇴화온도적승고유축보증대적추세.
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