常州大学学报(自然科学版)
常州大學學報(自然科學版)
상주대학학보(자연과학판)
JOURNAL OF JIANGSU POLYTECHNIC UNIVERSITY
2011年
4期
5-9
,共5页
氢化硅基薄膜%欧姆接触%能带结构%费米能级
氫化硅基薄膜%歐姆接觸%能帶結構%費米能級
경화규기박막%구모접촉%능대결구%비미능급
使用等离子体增强化学气相沉积方法制备了一组磷掺杂氢化硅基薄膜.I-U曲线显示薄膜与铝电极形成了良好的欧姆接触.霍尔测试结果表明该组样品为轻掺杂；利用拉曼光谱和紫外-可见吸收光谱对薄膜的微结构和光学带隙进行了表征,并从薄膜能带结构出发探讨了形成欧姆接触的原因.
使用等離子體增彊化學氣相沉積方法製備瞭一組燐摻雜氫化硅基薄膜.I-U麯線顯示薄膜與鋁電極形成瞭良好的歐姆接觸.霍爾測試結果錶明該組樣品為輕摻雜；利用拉曼光譜和紫外-可見吸收光譜對薄膜的微結構和光學帶隙進行瞭錶徵,併從薄膜能帶結構齣髮探討瞭形成歐姆接觸的原因.
사용등리자체증강화학기상침적방법제비료일조린참잡경화규기박막.I-U곡선현시박막여려전겁형성료량호적구모접촉.곽이측시결과표명해조양품위경참잡；이용랍만광보화자외-가견흡수광보대박막적미결구화광학대극진행료표정,병종박막능대결구출발탐토료형성구모접촉적원인.
