三峡大学学报（自然科学版）
三峽大學學報（自然科學版）
삼협대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF CHINA THREE GORGES UNIVERSITY(NATURAL SCIENCES)
2011年
6期
72-75
,共4页
李修能%孙小华%周生刚%侯爽%罗志猛%杨英%张巧玲
李脩能%孫小華%週生剛%侯爽%囉誌猛%楊英%張巧玲
리수능%손소화%주생강%후상%라지맹%양영%장교령
PBST薄膜%Mn掺杂%微观结构%介电调谐性能
PBST薄膜%Mn摻雜%微觀結構%介電調諧性能
PBST박막%Mn참잡%미관결구%개전조해성능
采用溶胶-凝胶工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Mn掺杂的钛酸锶铅钡PBST铁电薄膜.探讨了掺杂后PBST薄膜的微观结构及其铁介电性能.实验结果表明:随着Mn的掺杂量的增加,PBST薄膜的晶化质量变好,介电常数、介电损耗和调谐量均有减小的趋势,其优值因子有显著的提高.在测定频率为1 MHz下,掺杂后的PBST薄膜介电常数和介电损耗呈下降趋势,薄膜的介电常数从未掺杂的1 250降低至掺杂后的610,同时介电损耗由0.095减小到0.033,当Mn为J4 mol％时,有最小的介电损耗0.033,虽然调谐量不是最高的,但有最大的优值因子(FOM),其微波介电综合性能有所改善.
採用溶膠-凝膠工藝在Pt/Ti/SiO2/Si襯底上製備瞭Mn摻雜的鈦痠鍶鉛鋇PBST鐵電薄膜.探討瞭摻雜後PBST薄膜的微觀結構及其鐵介電性能.實驗結果錶明:隨著Mn的摻雜量的增加,PBST薄膜的晶化質量變好,介電常數、介電損耗和調諧量均有減小的趨勢,其優值因子有顯著的提高.在測定頻率為1 MHz下,摻雜後的PBST薄膜介電常數和介電損耗呈下降趨勢,薄膜的介電常數從未摻雜的1 250降低至摻雜後的610,同時介電損耗由0.095減小到0.033,噹Mn為J4 mol％時,有最小的介電損耗0.033,雖然調諧量不是最高的,但有最大的優值因子(FOM),其微波介電綜閤性能有所改善.
채용용효-응효공예재Pt/Ti/SiO2/Si츤저상제비료Mn참잡적태산송연패PBST철전박막.탐토료참잡후PBST박막적미관결구급기철개전성능.실험결과표명:수착Mn적참잡량적증가,PBST박막적정화질량변호,개전상수、개전손모화조해량균유감소적추세,기우치인자유현저적제고.재측정빈솔위1 MHz하,참잡후적PBST박막개전상수화개전손모정하강추세,박막적개전상수종미참잡적1 250강저지참잡후적610,동시개전손모유0.095감소도0.033,당Mn위J4 mol％시,유최소적개전손모0.033,수연조해량불시최고적,단유최대적우치인자(FOM),기미파개전종합성능유소개선.
