中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2004年
3期
363-366
,共4页
吴云峰%叶玉堂%吴泽明%杨先明%秦宇伟
吳雲峰%葉玉堂%吳澤明%楊先明%秦宇偉
오운봉%협옥당%오택명%양선명%진우위
激光技术%温度测量%激光微细加工%半导体
激光技術%溫度測量%激光微細加工%半導體
격광기술%온도측량%격광미세가공%반도체
在半导体的激光微细加工技术里,微小曝光区域的温度分布是关键的工艺参数,必须得到精确的测量.而为了使温度测量不影响曝光区的温度分布,需采用不接触测量方法.研制了计算机温度测量系统,实现了微小激光曝光区温度的实时不接触测量.系统中,InGaAs/InP光探测器将微小高温区的温度信号转换为光电流,再经信号放大及模/数转换后输入计算机.结合温度定标实验,对测得的温度数据进行插值运算,在实验中可以实时显示出曝光区的温度值.系统的温度分辨率可达到0.2℃, 测量区域的最小直径可达到18 μm.同时设计了搜索算法,使温度数据采集和精密位移平台的移动相配合,实现了温度分布的测量和最高温度区的准确定位.
在半導體的激光微細加工技術裏,微小曝光區域的溫度分佈是關鍵的工藝參數,必鬚得到精確的測量.而為瞭使溫度測量不影響曝光區的溫度分佈,需採用不接觸測量方法.研製瞭計算機溫度測量繫統,實現瞭微小激光曝光區溫度的實時不接觸測量.繫統中,InGaAs/InP光探測器將微小高溫區的溫度信號轉換為光電流,再經信號放大及模/數轉換後輸入計算機.結閤溫度定標實驗,對測得的溫度數據進行插值運算,在實驗中可以實時顯示齣曝光區的溫度值.繫統的溫度分辨率可達到0.2℃, 測量區域的最小直徑可達到18 μm.同時設計瞭搜索算法,使溫度數據採集和精密位移平檯的移動相配閤,實現瞭溫度分佈的測量和最高溫度區的準確定位.
재반도체적격광미세가공기술리,미소폭광구역적온도분포시관건적공예삼수,필수득도정학적측량.이위료사온도측량불영향폭광구적온도분포,수채용불접촉측량방법.연제료계산궤온도측량계통,실현료미소격광폭광구온도적실시불접촉측량.계통중,InGaAs/InP광탐측기장미소고온구적온도신호전환위광전류,재경신호방대급모/수전환후수입계산궤.결합온도정표실험,대측득적온도수거진행삽치운산,재실험중가이실시현시출폭광구적온도치.계통적온도분변솔가체도0.2℃, 측량구역적최소직경가체도18 μm.동시설계료수색산법,사온도수거채집화정밀위이평태적이동상배합,실현료온도분포적측량화최고온도구적준학정위.
