人工晶体学报
人工晶體學報
인공정체학보
2004年
6期
1035-1040
,共6页
谢会东%王晓青%沈光球
謝會東%王曉青%瀋光毬
사회동%왕효청%침광구
超光滑表面%超精密抛光%表面粗糙度%平面度
超光滑錶麵%超精密拋光%錶麵粗糙度%平麵度
초광활표면%초정밀포광%표면조조도%평면도
超光滑表面在现代科学技术中具有重要意义.超精密抛光技术是实现超光滑表面的主要方法.本文对超光滑表面的概念、影响超精密抛光质量的因素、几种超精密抛光方法及其所能达到的抛光效果、抛光效果的测量与评价方法等进行了介绍.同时描述了超精密抛光的发展阶段、现状和发展趋势.
超光滑錶麵在現代科學技術中具有重要意義.超精密拋光技術是實現超光滑錶麵的主要方法.本文對超光滑錶麵的概唸、影響超精密拋光質量的因素、幾種超精密拋光方法及其所能達到的拋光效果、拋光效果的測量與評價方法等進行瞭介紹.同時描述瞭超精密拋光的髮展階段、現狀和髮展趨勢.
초광활표면재현대과학기술중구유중요의의.초정밀포광기술시실현초광활표면적주요방법.본문대초광활표면적개념、영향초정밀포광질량적인소、궤충초정밀포광방법급기소능체도적포광효과、포광효과적측량여평개방법등진행료개소.동시묘술료초정밀포광적발전계단、현상화발전추세.
