光学学报
光學學報
광학학보
ACTA OPTICA SINICA
2005年
4期
572-576
,共5页
韩杰才%檀满林%朱嘉琦%程坤%孟松鹤
韓傑纔%檀滿林%硃嘉琦%程坤%孟鬆鶴
한걸재%단만림%주가기%정곤%맹송학
薄膜光学%非晶金刚石薄膜%密度%衬底偏压%X射线反射
薄膜光學%非晶金剛石薄膜%密度%襯底偏壓%X射線反射
박막광학%비정금강석박막%밀도%츤저편압%X사선반사
利用过滤阴极真空电弧系统制备了不同衬底偏压下非晶金刚石薄膜,分别采用X射线反射法测定了相应的非晶金刚石膜密度,分析了薄膜密度与沉积能量之间的变化规律,建立了薄膜密度随衬底偏压的变化曲线.研究发现在-80 V时非晶金刚石膜密度存在最大值3.26 g/cm3,随着偏压的增大和减小,薄膜的密度都相应的下降;当衬底偏压加到-2000 V时,密度减小到2.63 g/cm3,相对于密度的最大值变化较小.通过薄膜sp3能态杂化含量与密度的简单比例关系,近似推算出非晶金刚石膜中sp3能态的含量最高可达80%以上.
利用過濾陰極真空電弧繫統製備瞭不同襯底偏壓下非晶金剛石薄膜,分彆採用X射線反射法測定瞭相應的非晶金剛石膜密度,分析瞭薄膜密度與沉積能量之間的變化規律,建立瞭薄膜密度隨襯底偏壓的變化麯線.研究髮現在-80 V時非晶金剛石膜密度存在最大值3.26 g/cm3,隨著偏壓的增大和減小,薄膜的密度都相應的下降;噹襯底偏壓加到-2000 V時,密度減小到2.63 g/cm3,相對于密度的最大值變化較小.通過薄膜sp3能態雜化含量與密度的簡單比例關繫,近似推算齣非晶金剛石膜中sp3能態的含量最高可達80%以上.
이용과려음겁진공전호계통제비료불동츤저편압하비정금강석박막,분별채용X사선반사법측정료상응적비정금강석막밀도,분석료박막밀도여침적능량지간적변화규률,건립료박막밀도수츤저편압적변화곡선.연구발현재-80 V시비정금강석막밀도존재최대치3.26 g/cm3,수착편압적증대화감소,박막적밀도도상응적하강;당츤저편압가도-2000 V시,밀도감소도2.63 g/cm3,상대우밀도적최대치변화교소.통과박막sp3능태잡화함량여밀도적간단비례관계,근사추산출비정금강석막중sp3능태적함량최고가체80%이상.
