激光技术
激光技術
격광기술
LASER TECHNOLOGY
2005年
6期
652-653,656
,共3页
陶华锋%杨忠孝%宁永功%屠晶景%徐洪艳
陶華鋒%楊忠孝%寧永功%屠晶景%徐洪豔
도화봉%양충효%저영공%도정경%서홍염
GaN薄膜%损伤阈值%激光处理%缺陷密度
GaN薄膜%損傷閾值%激光處理%缺陷密度
GaN박막%손상역치%격광처리%결함밀도
通过激光损伤实验,报道了GaN薄膜10.6μm CO2激光的损伤阈值是64J/cm2;为了改善GaN薄膜质量,对其进行了10.6μm CO2激光辐照处理,结果表明,处理后GaN薄膜的缺陷密度明显降低.并对机理进行了分析.
通過激光損傷實驗,報道瞭GaN薄膜10.6μm CO2激光的損傷閾值是64J/cm2;為瞭改善GaN薄膜質量,對其進行瞭10.6μm CO2激光輻照處理,結果錶明,處理後GaN薄膜的缺陷密度明顯降低.併對機理進行瞭分析.
통과격광손상실험,보도료GaN박막10.6μm CO2격광적손상역치시64J/cm2;위료개선GaN박막질량,대기진행료10.6μm CO2격광복조처리,결과표명,처리후GaN박막적결함밀도명현강저.병대궤리진행료분석.
