中国激光
中國激光
중국격광
CHINESE JOURNAL OF LASERS
2006年
2期
175-178
,共4页
王顺权%周常河%茹华一%张妍妍
王順權%週常河%茹華一%張妍妍
왕순권%주상하%여화일%장연연
光栅%深刻蚀%感应耦合等离子体%熔融石英
光柵%深刻蝕%感應耦閤等離子體%鎔融石英
광책%심각식%감응우합등리자체%용융석영
深刻蚀高密度熔融石英光栅是一种新型高效的衍射光学元件,具有衍射效率高、成本低、抗损伤,能在高强度激光条件下工作等优点.给出了利用感应耦合等离子体(ICP)技术制作熔融石英深刻蚀光栅的详细过程,并在一定的优化条件下制作了一系列不同周期、开口比和深度的高质量深刻蚀石英光栅.实验得到的最大刻蚀深度为4 μm,并且在600 l/mm的高密度条件下得到了刻蚀深度为1.9μm的高深宽比石英光栅.光栅侧壁陡直,表面平整,没有聚合物沉积.所制作的熔融石英光栅元件在高强激光环境、光谱仪、高效滤波器和波分复用系统等领域中有非常广泛的用途.
深刻蝕高密度鎔融石英光柵是一種新型高效的衍射光學元件,具有衍射效率高、成本低、抗損傷,能在高彊度激光條件下工作等優點.給齣瞭利用感應耦閤等離子體(ICP)技術製作鎔融石英深刻蝕光柵的詳細過程,併在一定的優化條件下製作瞭一繫列不同週期、開口比和深度的高質量深刻蝕石英光柵.實驗得到的最大刻蝕深度為4 μm,併且在600 l/mm的高密度條件下得到瞭刻蝕深度為1.9μm的高深寬比石英光柵.光柵側壁陡直,錶麵平整,沒有聚閤物沉積.所製作的鎔融石英光柵元件在高彊激光環境、光譜儀、高效濾波器和波分複用繫統等領域中有非常廣汎的用途.
심각식고밀도용융석영광책시일충신형고효적연사광학원건,구유연사효솔고、성본저、항손상,능재고강도격광조건하공작등우점.급출료이용감응우합등리자체(ICP)기술제작용융석영심각식광책적상세과정,병재일정적우화조건하제작료일계렬불동주기、개구비화심도적고질량심각식석영광책.실험득도적최대각식심도위4 μm,병차재600 l/mm적고밀도조건하득도료각식심도위1.9μm적고심관비석영광책.광책측벽두직,표면평정,몰유취합물침적.소제작적용융석영광책원건재고강격광배경、광보의、고효려파기화파분복용계통등영역중유비상엄범적용도.
