光电子·激光
光電子·激光
광전자·격광
JOURNAL OF OPTOECTRONICS·LASER
2006年
12期
1447-1452
,共6页
赵本刚%刘玉菲%穆参军%徐静%吴亚明
趙本剛%劉玉菲%穆參軍%徐靜%吳亞明
조본강%류옥비%목삼군%서정%오아명
微电子机械系统(MEMS)%光学电流传感器(OCS)%绝缘体上的Si(SOI)%扭转微镜%温度补偿
微電子機械繫統(MEMS)%光學電流傳感器(OCS)%絕緣體上的Si(SOI)%扭轉微鏡%溫度補償
미전자궤계계통(MEMS)%광학전류전감기(OCS)%절연체상적Si(SOI)%뉴전미경%온도보상
将光纤与微电子机械系统(MEMS)技术相结合,设计了一种新颖的检测50 Hz高压交流电的光学电流传感器(OCS).用ANSYS软件分析了器件的模态、动态响应与热膨胀特性,并通过Matlab软件模拟了器件的工作性能.模拟计算表明:ANSYS与理论公式得到的结果基本一致;传感器的量程为100～3 600 A,对于大电流下的灵敏度可达到0.02 dB/A,温度变化±50 K时传感器相应的测试误差为0.2%.
將光纖與微電子機械繫統(MEMS)技術相結閤,設計瞭一種新穎的檢測50 Hz高壓交流電的光學電流傳感器(OCS).用ANSYS軟件分析瞭器件的模態、動態響應與熱膨脹特性,併通過Matlab軟件模擬瞭器件的工作性能.模擬計算錶明:ANSYS與理論公式得到的結果基本一緻;傳感器的量程為100～3 600 A,對于大電流下的靈敏度可達到0.02 dB/A,溫度變化±50 K時傳感器相應的測試誤差為0.2%.
장광섬여미전자궤계계통(MEMS)기술상결합,설계료일충신영적검측50 Hz고압교류전적광학전류전감기(OCS).용ANSYS연건분석료기건적모태、동태향응여열팽창특성,병통과Matlab연건모의료기건적공작성능.모의계산표명:ANSYS여이론공식득도적결과기본일치;전감기적량정위100～3 600 A,대우대전류하적령민도가체도0.02 dB/A,온도변화±50 K시전감기상응적측시오차위0.2%.
