物理实验
物理實驗
물리실험
PHYSICS EXPERIMENTATION
2006年
10期
9-13
,共5页
熊永红%许巍%麦远棠%孙超伦%林楠
熊永紅%許巍%麥遠棠%孫超倫%林楠
웅영홍%허외%맥원당%손초륜%림남
薄膜%离子束溅射%原位动态电阻测量%扫描隧道显微镜
薄膜%離子束濺射%原位動態電阻測量%掃描隧道顯微鏡
박막%리자속천사%원위동태전조측량%소묘수도현미경
从薄膜制备、生长过程动态分析以及形貌表征3方面设计了薄膜系列实验.用离子束溅射制备金属薄膜,研究了制备条件对溅射速率的影响,测量了薄膜生长过程中电阻的变化,用扫描隧道显微镜或原子力显微镜观测薄膜的表面形貌,并分析不同制备条件得到的薄膜的表面形貌特征.
從薄膜製備、生長過程動態分析以及形貌錶徵3方麵設計瞭薄膜繫列實驗.用離子束濺射製備金屬薄膜,研究瞭製備條件對濺射速率的影響,測量瞭薄膜生長過程中電阻的變化,用掃描隧道顯微鏡或原子力顯微鏡觀測薄膜的錶麵形貌,併分析不同製備條件得到的薄膜的錶麵形貌特徵.
종박막제비、생장과정동태분석이급형모표정3방면설계료박막계렬실험.용리자속천사제비금속박막,연구료제비조건대천사속솔적영향,측량료박막생장과정중전조적변화,용소묘수도현미경혹원자력현미경관측박막적표면형모,병분석불동제비조건득도적박막적표면형모특정.
