真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2007年
z1期
1-4
,共4页
狄云松%王维列%雷威%张晓兵%王保平%崔云康%苏星
狄雲鬆%王維列%雷威%張曉兵%王保平%崔雲康%囌星
적운송%왕유렬%뢰위%장효병%왕보평%최운강%소성
薄膜%调制特性%场发射
薄膜%調製特性%場髮射
박막%조제특성%장발사
三极结构的场发射器件的研究备受关注,栅极的调制特性是三极结构的主要研究对象.本文通过计算机模拟分析碳纳米管薄膜层表面的电场分布,结合在二极结构中碳纳米管薄膜发射的实验结果,将两者代入Fowler-Nordheim公式中求得三极结构中阴极发射电流,得到不同栅极电压对发射电流的调制关系.
三極結構的場髮射器件的研究備受關註,柵極的調製特性是三極結構的主要研究對象.本文通過計算機模擬分析碳納米管薄膜層錶麵的電場分佈,結閤在二極結構中碳納米管薄膜髮射的實驗結果,將兩者代入Fowler-Nordheim公式中求得三極結構中陰極髮射電流,得到不同柵極電壓對髮射電流的調製關繫.
삼겁결구적장발사기건적연구비수관주,책겁적조제특성시삼겁결구적주요연구대상.본문통과계산궤모의분석탄납미관박막층표면적전장분포,결합재이겁결구중탄납미관박막발사적실험결과,장량자대입Fowler-Nordheim공식중구득삼겁결구중음겁발사전류,득도불동책겁전압대발사전류적조제관계.
