山东师范大学学报（自然科学版）
山東師範大學學報（自然科學版）
산동사범대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF SHANGOND NORMAL UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2007年
3期
52-54
,共3页
胡丽君%庄惠照%薛成山%薛守斌%张士英%李保理
鬍麗君%莊惠照%薛成山%薛守斌%張士英%李保理
호려군%장혜조%설성산%설수빈%장사영%리보리
磁控溅射%择优取向%AlN
磁控濺射%擇優取嚮%AlN
자공천사%택우취향%AlN
采用磁控溅射技术在Si(Ⅲ)衬底上沉积了Al膜,在高温炉中使之与氨气反应制备AlN薄膜.利用X射线衍射、X射线光电子能谱、扫描电镜等研究了薄膜的结构、成分以及表面形貌.结果表明不同氨气作用时间会使薄膜表现出不同的择优生长取向,同时不同厚度的Al薄膜也会在氨气作用后生成不同择优生长取向的AlN薄膜.
採用磁控濺射技術在Si(Ⅲ)襯底上沉積瞭Al膜,在高溫爐中使之與氨氣反應製備AlN薄膜.利用X射線衍射、X射線光電子能譜、掃描電鏡等研究瞭薄膜的結構、成分以及錶麵形貌.結果錶明不同氨氣作用時間會使薄膜錶現齣不同的擇優生長取嚮,同時不同厚度的Al薄膜也會在氨氣作用後生成不同擇優生長取嚮的AlN薄膜.
채용자공천사기술재Si(Ⅲ)츤저상침적료Al막,재고온로중사지여안기반응제비AlN박막.이용X사선연사、X사선광전자능보、소묘전경등연구료박막적결구、성분이급표면형모.결과표명불동안기작용시간회사박막표현출불동적택우생장취향,동시불동후도적Al박막야회재안기작용후생성불동택우생장취향적AlN박막.
