半导体光电
半導體光電
반도체광전
SEMICONDUCTOR OPTOELECTRONICS
2008年
1期
143-146
,共4页
光学测量%转角%衍射%分离间隙法%最小二乘法
光學測量%轉角%衍射%分離間隙法%最小二乘法
광학측량%전각%연사%분리간극법%최소이승법
利用单缝夫琅和费衍射装置,通过转动来使组成狭缝的一个棱边与另一固定棱边形成分离间隙,进而使观察屏上的衍射条纹出现不对称分布现象.用最小二乘法对由线阵CCD测量到的衍射图像的光强分布进行二次曲线拟合,并由拟合得到的数学表达式,确定衍射条纹的精确位置.推导出转动棱边在转动平面内两个相互垂直方向上的位移与观察屏上衍射暗纹位置之间的关系式,并利用它对转动棱边的转角进行计算.实验结果表明,新的测量方法可以实现小转角的高精度测量,转角的测量不确定度可达4.2″.
利用單縫伕瑯和費衍射裝置,通過轉動來使組成狹縫的一箇稜邊與另一固定稜邊形成分離間隙,進而使觀察屏上的衍射條紋齣現不對稱分佈現象.用最小二乘法對由線陣CCD測量到的衍射圖像的光彊分佈進行二次麯線擬閤,併由擬閤得到的數學錶達式,確定衍射條紋的精確位置.推導齣轉動稜邊在轉動平麵內兩箇相互垂直方嚮上的位移與觀察屏上衍射暗紋位置之間的關繫式,併利用它對轉動稜邊的轉角進行計算.實驗結果錶明,新的測量方法可以實現小轉角的高精度測量,轉角的測量不確定度可達4.2″.
이용단봉부랑화비연사장치,통과전동래사조성협봉적일개릉변여령일고정릉변형성분리간극,진이사관찰병상적연사조문출현불대칭분포현상.용최소이승법대유선진CCD측량도적연사도상적광강분포진행이차곡선의합,병유의합득도적수학표체식,학정연사조문적정학위치.추도출전동릉변재전동평면내량개상호수직방향상적위이여관찰병상연사암문위치지간적관계식,병이용타대전동릉변적전각진행계산.실험결과표명,신적측량방법가이실현소전각적고정도측량,전각적측량불학정도가체4.2″.
