长沙电力学院学报(自然科学版)
長沙電力學院學報(自然科學版)
장사전역학원학보(자연과학판)
JOURNAL OF CHANGSHA UNIVERSITY OF ELECTRIC POWER（NATURAL SCIENCE）
2003年
3期
67-69
,共3页
刘小兵%史向华%柳毅%柳玥%王行军%丁训民%侯晓远
劉小兵%史嚮華%柳毅%柳玥%王行軍%丁訓民%侯曉遠
류소병%사향화%류의%류모%왕행군%정훈민%후효원
多孔硅薄膜%共焦微Raman%频移
多孔硅薄膜%共焦微Raman%頻移
다공규박막%공초미Raman%빈이
采用高灵敏度的micro-Raman系统研究了多孔硅(PS)在纵向的Raman效应,并研究了多孔硅尺寸对Raman谱的影响.实验中采用脉冲电化学腐蚀和直流电化学腐蚀两种方法制备PS样品,纵向Raman光谱的结果表明,在纵向不同深度,用脉冲电化学腐蚀方法制备的PS,Raman光谱不存在频移,而用直流电化学腐蚀方法制备的PS在多孔层深度为70～90μm处的Raman光谱有向低波数方向约40 cm-1的移动,它是由于常规电化学腐蚀方法制备的PS不同深度的尺寸分布对量子效率的影响引起的.
採用高靈敏度的micro-Raman繫統研究瞭多孔硅(PS)在縱嚮的Raman效應,併研究瞭多孔硅呎吋對Raman譜的影響.實驗中採用脈遲電化學腐蝕和直流電化學腐蝕兩種方法製備PS樣品,縱嚮Raman光譜的結果錶明,在縱嚮不同深度,用脈遲電化學腐蝕方法製備的PS,Raman光譜不存在頻移,而用直流電化學腐蝕方法製備的PS在多孔層深度為70～90μm處的Raman光譜有嚮低波數方嚮約40 cm-1的移動,它是由于常規電化學腐蝕方法製備的PS不同深度的呎吋分佈對量子效率的影響引起的.
채용고령민도적micro-Raman계통연구료다공규(PS)재종향적Raman효응,병연구료다공규척촌대Raman보적영향.실험중채용맥충전화학부식화직류전화학부식량충방법제비PS양품,종향Raman광보적결과표명,재종향불동심도,용맥충전화학부식방법제비적PS,Raman광보불존재빈이,이용직류전화학부식방법제비적PS재다공층심도위70～90μm처적Raman광보유향저파수방향약40 cm-1적이동,타시유우상규전화학부식방법제비적PS불동심도적척촌분포대양자효솔적영향인기적.
