用有限元模拟的方法研究大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力
용유한원모의적방법연구대면적자지탱금강석막침적과정중적열응력
Thermal Stress Analysis of Large Area Free-standing Diamond Films Using Finite Element Method
  • 万方数据
    人工晶体学报 인공정체학보

    2008年 2期 345-349,355 ,共6页

    刘政%李成明%牛得草%唐伟忠%陈广超%宋建华%佟玉梅%吕反修

    류정%리성명%우득초%당위충%진엄초%송건화%동옥매%려반수

    有限元%热应力%钛过渡层%自支撑金刚石膜 有限元%熱應力%鈦過渡層%自支撐金剛石膜
    유한원%열응력%태과도층%자지탱금강석막
    建立了没有过渡层和有过渡层的有限元模型,对大面积自支撑金刚石膜沉积过程中的热应力进行了研究.分别计算了在常用金属材料钼、钨、镍作衬底和用镀有钛过渡层的钼作衬底的情况下,膜/衬底间的热应力分布情况.模拟与实验的结果表明,在大面积自支撑金刚石膜沉积过程中,采用镀有钛过渡层的钼作衬底有利于热应力的释放,从而可能制备出高质量的大面积无裂纹金刚石膜.
    건립료몰유과도층화유과도층적유한원모형,대대면적자지탱금강석막침적과정중적열응력진행료연구.분별계산료재상용금속재료목、오、얼작츤저화용도유태과도층적목작츤저적정황하,막/츤저간적열응력분포정황.모의여실험적결과표명,재대면적자지탱금강석막침적과정중,채용도유태과도층적목작츤저유리우열응력적석방,종이가능제비출고질량적대면적무렬문금강석막.
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