真空科学与技术学报
真空科學與技術學報
진공과학여기술학보
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY
2005年
5期
381-384
,共4页
邝子奇%代明江%熊国刚%刘敏%邓畅光%周克崧
鄺子奇%代明江%熊國剛%劉敏%鄧暢光%週剋崧
광자기%대명강%웅국강%류민%산창광%주극숭
真空等离子体喷涂%钨涂层%高温热处理%钼基体
真空等離子體噴塗%鎢塗層%高溫熱處理%鉬基體
진공등리자체분도%오도층%고온열처리%목기체
采用真空等离子体喷涂(VPS)技术制备出厚度超过0.8 mm的金属钨涂层,并对涂层进行了高温热处理.结果显示:金属钨涂层主要呈层状结构,其密度可达到理论密度的98%以上;工艺参数对喷涂涂层性能有较大影响,特别是对涂层密度、结合强度有影响;高温热处理引起界面结构变化,形成钨钼混合层,且再结晶形成细小的晶粒;和CVD方法以及常压等离子体喷涂方法制备的钨涂层相比,低压等离子体喷涂具有明显的优势.
採用真空等離子體噴塗(VPS)技術製備齣厚度超過0.8 mm的金屬鎢塗層,併對塗層進行瞭高溫熱處理.結果顯示:金屬鎢塗層主要呈層狀結構,其密度可達到理論密度的98%以上;工藝參數對噴塗塗層性能有較大影響,特彆是對塗層密度、結閤彊度有影響;高溫熱處理引起界麵結構變化,形成鎢鉬混閤層,且再結晶形成細小的晶粒;和CVD方法以及常壓等離子體噴塗方法製備的鎢塗層相比,低壓等離子體噴塗具有明顯的優勢.
채용진공등리자체분도(VPS)기술제비출후도초과0.8 mm적금속오도층,병대도층진행료고온열처리.결과현시:금속오도층주요정층상결구,기밀도가체도이론밀도적98%이상;공예삼수대분도도층성능유교대영향,특별시대도층밀도、결합강도유영향;고온열처리인기계면결구변화,형성오목혼합층,차재결정형성세소적정립;화CVD방법이급상압등리자체분도방법제비적오도층상비,저압등리자체분도구유명현적우세.
