真空
真空
진공
VACUUM
2006年
6期
19-21
,共3页
李群%王爱星%游泳%潘小青%饶瑞昌%吴雪梅
李群%王愛星%遊泳%潘小青%饒瑞昌%吳雪梅
리군%왕애성%유영%반소청%요서창%오설매
铝%掺杂%薄膜%电致发光
鋁%摻雜%薄膜%電緻髮光
려%참잡%박막%전치발광
为提高硅基薄膜(SiOx)发光材料的发光效率,采用双离子束溅射法制备了不同铝含量的Al-Si-SiO2薄膜.对所制备样品的电致发光(EL)测试表明:由于金属(Al)的掺入,使得在同样的电压下,薄膜中的电流随着铝含量的增加而增加;并且铝含量增大使得通过薄膜的电流增强,因而得到较高强度的电致发光.所以当硅基薄膜中掺入铝时,薄膜的发光效率得以提高;并且,随着铝含量的增加,薄膜的发光效率亦相应提高.
為提高硅基薄膜(SiOx)髮光材料的髮光效率,採用雙離子束濺射法製備瞭不同鋁含量的Al-Si-SiO2薄膜.對所製備樣品的電緻髮光(EL)測試錶明:由于金屬(Al)的摻入,使得在同樣的電壓下,薄膜中的電流隨著鋁含量的增加而增加;併且鋁含量增大使得通過薄膜的電流增彊,因而得到較高彊度的電緻髮光.所以噹硅基薄膜中摻入鋁時,薄膜的髮光效率得以提高;併且,隨著鋁含量的增加,薄膜的髮光效率亦相應提高.
위제고규기박막(SiOx)발광재료적발광효솔,채용쌍리자속천사법제비료불동려함량적Al-Si-SiO2박막.대소제비양품적전치발광(EL)측시표명:유우금속(Al)적참입,사득재동양적전압하,박막중적전류수착려함량적증가이증가;병차려함량증대사득통과박막적전류증강,인이득도교고강도적전치발광.소이당규기박막중참입려시,박막적발광효솔득이제고;병차,수착려함량적증가,박막적발광효솔역상응제고.
