激光与红外
激光與紅外
격광여홍외
LASER & INFRARED
2006年
10期
957-959
,共3页
非晶YBCO薄膜%热释电效应%红外探测器
非晶YBCO薄膜%熱釋電效應%紅外探測器
비정YBCO박막%열석전효응%홍외탐측기
介绍了非晶YBCO薄膜用作非制冷热释电红外探测器材料.它在室温下显示出强的热释电行为,并且容易在室温下采用射频磁控溅射法沉积,制备工艺与CMOS工艺相兼容,是一种很有潜力的热释电探测器材料.并介绍了非晶YBCO热释电薄膜的研究现状,阐述了该薄膜及其探测器的制备技术和研究动向.
介紹瞭非晶YBCO薄膜用作非製冷熱釋電紅外探測器材料.它在室溫下顯示齣彊的熱釋電行為,併且容易在室溫下採用射頻磁控濺射法沉積,製備工藝與CMOS工藝相兼容,是一種很有潛力的熱釋電探測器材料.併介紹瞭非晶YBCO熱釋電薄膜的研究現狀,闡述瞭該薄膜及其探測器的製備技術和研究動嚮.
개소료비정YBCO박막용작비제랭열석전홍외탐측기재료.타재실온하현시출강적열석전행위,병차용역재실온하채용사빈자공천사법침적,제비공예여CMOS공예상겸용,시일충흔유잠력적열석전탐측기재료.병개소료비정YBCO열석전박막적연구현상,천술료해박막급기탐측기적제비기술화연구동향.
