原子能科学技术
原子能科學技術
원자능과학기술
ATOMIC ENERGY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2006年
z1期
61-66
,共6页
徐展%周斌%徐翔%王孝利%邬镝%沈军
徐展%週斌%徐翔%王孝利%鄔鏑%瀋軍
서전%주빈%서상%왕효리%오적%침군
多孔氧化铝膜%纳米孔阵列%自组织
多孔氧化鋁膜%納米孔陣列%自組織
다공양화려막%납미공진렬%자조직
文章介绍采用二次阳极氧化法制备孔洞规则、有序的多孔氧化铝膜的工艺.多孔阳极氧化铝(AAO)膜孔径为20～100 nm,孔道相互平行且垂直于表面,深度可达50μm.详细分析了第1次阳极氧化、去除氧化层、第2次阳极氧化、扩孔过程中孔结构发生的变化.研究了不同电解液、阳极氧化温度、外加电压等对多孔氧化铝结构的影响.分析了多孔氧化铝膜的表面及侧面形貌、表面微区成分.在草酸溶液中氧化所得的AAO膜孔径相对在硫酸溶液中的较大.在一定范围内,增加氧化温度及氧化电压能提高AAO膜孔径.
文章介紹採用二次暘極氧化法製備孔洞規則、有序的多孔氧化鋁膜的工藝.多孔暘極氧化鋁(AAO)膜孔徑為20～100 nm,孔道相互平行且垂直于錶麵,深度可達50μm.詳細分析瞭第1次暘極氧化、去除氧化層、第2次暘極氧化、擴孔過程中孔結構髮生的變化.研究瞭不同電解液、暘極氧化溫度、外加電壓等對多孔氧化鋁結構的影響.分析瞭多孔氧化鋁膜的錶麵及側麵形貌、錶麵微區成分.在草痠溶液中氧化所得的AAO膜孔徑相對在硫痠溶液中的較大.在一定範圍內,增加氧化溫度及氧化電壓能提高AAO膜孔徑.
문장개소채용이차양겁양화법제비공동규칙、유서적다공양화려막적공예.다공양겁양화려(AAO)막공경위20～100 nm,공도상호평행차수직우표면,심도가체50μm.상세분석료제1차양겁양화、거제양화층、제2차양겁양화、확공과정중공결구발생적변화.연구료불동전해액、양겁양화온도、외가전압등대다공양화려결구적영향.분석료다공양화려막적표면급측면형모、표면미구성분.재초산용액중양화소득적AAO막공경상대재류산용액중적교대.재일정범위내,증가양화온도급양화전압능제고AAO막공경.
