华侨大学学报（自然科学版）
華僑大學學報（自然科學版）
화교대학학보（자연과학판）
JOURNAL OF HUAQIAO UNIVERSITY(NATURAL SCIENCE)
2012年
3期
251-254
,共4页
陈唐荣%赵艮春%戴文海%庄其仁
陳唐榮%趙艮春%戴文海%莊其仁
진당영%조간춘%대문해%장기인
矩形光栅%衍射效率比%激光衍射%光栅参数%衍射光强比
矩形光柵%衍射效率比%激光衍射%光柵參數%衍射光彊比
구형광책%연사효솔비%격광연사%광책삼수%연사광강비
基于矩形光栅的标量衍射效率公式,提出一种根据0级和1级衍射效率比来测量浮雕矩形光栅的刻槽深度和折射率的方法,并对衍射效率与刻槽深度和入射角的关系进行分析.对刻槽深度分别为2.90,1.01μm的熔石英离子刻蚀矩形光栅进行测量,从实验上验证测量方法的正确性.研究结果表明:通过测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,可反演出矩形光栅刻槽深度和塑料光栅材料的折射率,所测量光栅刻槽深度和折射率的误差均小于1％.
基于矩形光柵的標量衍射效率公式,提齣一種根據0級和1級衍射效率比來測量浮彫矩形光柵的刻槽深度和摺射率的方法,併對衍射效率與刻槽深度和入射角的關繫進行分析.對刻槽深度分彆為2.90,1.01μm的鎔石英離子刻蝕矩形光柵進行測量,從實驗上驗證測量方法的正確性.研究結果錶明:通過測量透過光柵的0級和1級衍射光彊比,可反縯齣矩形光柵刻槽深度和塑料光柵材料的摺射率,所測量光柵刻槽深度和摺射率的誤差均小于1％.
기우구형광책적표량연사효솔공식,제출일충근거0급화1급연사효솔비래측량부조구형광책적각조심도화절사솔적방법,병대연사효솔여각조심도화입사각적관계진행분석.대각조심도분별위2.90,1.01μm적용석영리자각식구형광책진행측량,종실험상험증측량방법적정학성.연구결과표명:통과측량투과광책적0급화1급연사광강비,가반연출구형광책각조심도화소료광책재료적절사솔,소측량광책각조심도화절사솔적오차균소우1％.
