稀有金属
稀有金屬
희유금속
CHINESE JOURNAL OF RARE METALS
2005年
6期
819-822
,共4页
化学气相沉积%ZnS%流体动力学模拟%流动场
化學氣相沉積%ZnS%流體動力學模擬%流動場
화학기상침적%ZnS%류체동역학모의%류동장
介绍了采用化学气相沉积(CVD)技术制备ZnS的原理及特点,提出用气体流形模拟研究目前生长过程中沉积厚度均匀性、长时间沉积稳定性以及重复性等问题.选择了合适的描述沉积室内气体运动的流体力学和表面反应动力学模型,利用流体力学的偏微分方程组(Navier-Stokes方程组),通过数值计算,得到沉积室内的速度场及流动场的模拟结果.比较可得在一定流速比下,采用环形主气流及横截面小的沉积室,可大大提高沉积室纵向生长均匀性.
介紹瞭採用化學氣相沉積(CVD)技術製備ZnS的原理及特點,提齣用氣體流形模擬研究目前生長過程中沉積厚度均勻性、長時間沉積穩定性以及重複性等問題.選擇瞭閤適的描述沉積室內氣體運動的流體力學和錶麵反應動力學模型,利用流體力學的偏微分方程組(Navier-Stokes方程組),通過數值計算,得到沉積室內的速度場及流動場的模擬結果.比較可得在一定流速比下,採用環形主氣流及橫截麵小的沉積室,可大大提高沉積室縱嚮生長均勻性.
개소료채용화학기상침적(CVD)기술제비ZnS적원리급특점,제출용기체류형모의연구목전생장과정중침적후도균균성、장시간침적은정성이급중복성등문제.선택료합괄적묘술침적실내기체운동적류체역학화표면반응동역학모형,이용류체역학적편미분방정조(Navier-Stokes방정조),통과수치계산,득도침적실내적속도장급류동장적모의결과.비교가득재일정류속비하,채용배형주기류급횡절면소적침적실,가대대제고침적실종향생장균균성.
