沈阳工业大学学报
瀋暘工業大學學報
침양공업대학학보
JOURNAL OF SHENYANG POLYTECHNIC UNIVERSITY
2006年
3期
315-317
,共3页
孙承松%张丽娟%陈桂梅%袁凯
孫承鬆%張麗娟%陳桂梅%袁凱
손승송%장려연%진계매%원개
Ni-Cr电阻%熔丝%可编程只读存储器%集成电路%设计
Ni-Cr電阻%鎔絲%可編程隻讀存儲器%集成電路%設計
Ni-Cr전조%용사%가편정지독존저기%집성전로%설계
介绍了应用在PROM器件中的Ni-Cr熔丝电阻的设计.熔丝是决定PROM器件稳定性的关键元件.Ni-Cr薄膜材料有良好的半导体加工特性和温度稳定性.通过热学分析和测试实验,得到相关数据,设计出熔丝形状以及三维尺寸.再根据此集成电路器件的整体版图布局设计出可应用到PROM中的Ni-Cr熔丝.采用磁控溅射方法,通过控制工艺条件得到所需的薄膜厚度,经光刻形成所需图形.通过产品的读取测试实验,取得了良好的效果.
介紹瞭應用在PROM器件中的Ni-Cr鎔絲電阻的設計.鎔絲是決定PROM器件穩定性的關鍵元件.Ni-Cr薄膜材料有良好的半導體加工特性和溫度穩定性.通過熱學分析和測試實驗,得到相關數據,設計齣鎔絲形狀以及三維呎吋.再根據此集成電路器件的整體版圖佈跼設計齣可應用到PROM中的Ni-Cr鎔絲.採用磁控濺射方法,通過控製工藝條件得到所需的薄膜厚度,經光刻形成所需圖形.通過產品的讀取測試實驗,取得瞭良好的效果.
개소료응용재PROM기건중적Ni-Cr용사전조적설계.용사시결정PROM기건은정성적관건원건.Ni-Cr박막재료유량호적반도체가공특성화온도은정성.통과열학분석화측시실험,득도상관수거,설계출용사형상이급삼유척촌.재근거차집성전로기건적정체판도포국설계출가응용도PROM중적Ni-Cr용사.채용자공천사방법,통과공제공예조건득도소수적박막후도,경광각형성소수도형.통과산품적독취측시실험,취득료량호적효과.
