传感技术学报
傳感技術學報
전감기술학보
Journal of Transduction Technology
2007年
7期
1535-1538
,共4页
何高法%唐一科%刘世明%何晓平
何高法%唐一科%劉世明%何曉平
하고법%당일과%류세명%하효평
微机电系统%微杠杆%柔性铰链%加速度计
微機電繫統%微槓桿%柔性鉸鏈%加速度計
미궤전계통%미강간%유성교련%가속도계
设计谐振式微加速度计时,需要考虑一个最关键的问题是提高其灵敏度.放大质量块产生的惯性力是提高灵敏度的最有效方法.基于柔性铰链技术设计一种新型两级微杠杆放大机构,并建立了放大机构的力学和数学模型,在此基础上进行了解析法分析和参数优化设计;同时利用有限元分析方法对其进行了仿真计算.计算结果显示机构的放大倍数约为102倍.这一设计方案极大地提高了微加速度计的灵敏度.
設計諧振式微加速度計時,需要攷慮一箇最關鍵的問題是提高其靈敏度.放大質量塊產生的慣性力是提高靈敏度的最有效方法.基于柔性鉸鏈技術設計一種新型兩級微槓桿放大機構,併建立瞭放大機構的力學和數學模型,在此基礎上進行瞭解析法分析和參數優化設計;同時利用有限元分析方法對其進行瞭倣真計算.計算結果顯示機構的放大倍數約為102倍.這一設計方案極大地提高瞭微加速度計的靈敏度.
설계해진식미가속도계시,수요고필일개최관건적문제시제고기령민도.방대질량괴산생적관성력시제고령민도적최유효방법.기우유성교련기술설계일충신형량급미강간방대궤구,병건립료방대궤구적역학화수학모형,재차기출상진행료해석법분석화삼수우화설계;동시이용유한원분석방법대기진행료방진계산.계산결과현시궤구적방대배수약위102배.저일설계방안겁대지제고료미가속도계적령민도.
