天津大学学报
天津大學學報
천진대학학보
JOURNAL OF TIANJIN UNIVERSITY SCIENCE AND TECHNOLOGY
2011年
10期
847-851
,共5页
梁继然%胡明%梁秀琴%阚强%陈涛%陈弘达
樑繼然%鬍明%樑秀琴%闞彊%陳濤%陳弘達
량계연%호명%량수금%감강%진도%진홍체
二氧化钒%溅射功率%相变%磁控溅射%薄膜
二氧化釩%濺射功率%相變%磁控濺射%薄膜
이양화범%천사공솔%상변%자공천사%박막
采用射频磁控溅射方法,结合氮气氛退火处理工艺制备二氧化钒薄膜,研究溅射功率对氧化钒薄膜电阻温度性能的影响.利用X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对薄膜的结晶结构和成分进行了分析,利用四探针测试仪测试了样品的电阻温度特性.实验结果表明,在保持优化氧分压和热处理工艺条件不变的情况下,氧化钒薄膜的方块电阻随溅射功率的升高逐渐下降;经450℃热处理后,氧化钒薄膜出现了明显的半导体-金属相变特性,相变的幅度随溅射功率的增加而逐渐下降;在溅射功率为150W时,获得了相变幅度接近3个数量级的高性能二氧化钒薄膜.
採用射頻磁控濺射方法,結閤氮氣氛退火處理工藝製備二氧化釩薄膜,研究濺射功率對氧化釩薄膜電阻溫度性能的影響.利用X射線衍射儀和X射線光電子能譜儀對薄膜的結晶結構和成分進行瞭分析,利用四探針測試儀測試瞭樣品的電阻溫度特性.實驗結果錶明,在保持優化氧分壓和熱處理工藝條件不變的情況下,氧化釩薄膜的方塊電阻隨濺射功率的升高逐漸下降;經450℃熱處理後,氧化釩薄膜齣現瞭明顯的半導體-金屬相變特性,相變的幅度隨濺射功率的增加而逐漸下降;在濺射功率為150W時,穫得瞭相變幅度接近3箇數量級的高性能二氧化釩薄膜.
채용사빈자공천사방법,결합담기분퇴화처리공예제비이양화범박막,연구천사공솔대양화범박막전조온도성능적영향.이용X사선연사의화X사선광전자능보의대박막적결정결구화성분진행료분석,이용사탐침측시의측시료양품적전조온도특성.실험결과표명,재보지우화양분압화열처리공예조건불변적정황하,양화범박막적방괴전조수천사공솔적승고축점하강;경450℃열처리후,양화범박막출현료명현적반도체-금속상변특성,상변적폭도수천사공솔적증가이축점하강;재천사공솔위150W시,획득료상변폭도접근3개수량급적고성능이양화범박막.
