硬质合金
硬質閤金
경질합금
CEMENTED CARBIDE
2012年
2期
72-79
,共8页
吕继磊%满卫东%朱金凤%涂昕
呂繼磊%滿衛東%硃金鳳%塗昕
려계뢰%만위동%주금봉%도흔
大颗粒%微波等离子体%化学气相沉积%表面形貌
大顆粒%微波等離子體%化學氣相沉積%錶麵形貌
대과립%미파등리자체%화학기상침적%표면형모
利用自制5 kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装置,沉积得到了晶粒尺寸达到500μm的大颗粒金刚石.采用抛光后的硅作为基底,CH4和H2为气源,分别研究了基片边缘与中心区域沉积的大颗粒金刚石的表面形貌.通过SEM表征了金刚石的表面形貌.发现基片边缘由于产生放电现象加速了金刚石的沉积,而晶粒之间相互挤压导致了孪晶的产生,影响其生长质量.相反由于中心区域形核密度低,使得晶粒在优先生长的模型下抑制了小晶粒的生长,从而提供更多的能量促进大晶粒的生长,在本实验条件下(100)晶面得到了长大,并获得了表面平整、晶体形貌良好的大颗粒金刚石.最后介绍了国内外合成大颗粒金刚石的研究进展,并对其研究方向做出了展望.
利用自製5 kW微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)裝置,沉積得到瞭晶粒呎吋達到500μm的大顆粒金剛石.採用拋光後的硅作為基底,CH4和H2為氣源,分彆研究瞭基片邊緣與中心區域沉積的大顆粒金剛石的錶麵形貌.通過SEM錶徵瞭金剛石的錶麵形貌.髮現基片邊緣由于產生放電現象加速瞭金剛石的沉積,而晶粒之間相互擠壓導緻瞭孿晶的產生,影響其生長質量.相反由于中心區域形覈密度低,使得晶粒在優先生長的模型下抑製瞭小晶粒的生長,從而提供更多的能量促進大晶粒的生長,在本實驗條件下(100)晶麵得到瞭長大,併穫得瞭錶麵平整、晶體形貌良好的大顆粒金剛石.最後介紹瞭國內外閤成大顆粒金剛石的研究進展,併對其研究方嚮做齣瞭展望.
이용자제5 kW미파등리자체화학기상침적(MPCVD)장치,침적득도료정립척촌체도500μm적대과립금강석.채용포광후적규작위기저,CH4화H2위기원,분별연구료기편변연여중심구역침적적대과립금강석적표면형모.통과SEM표정료금강석적표면형모.발현기편변연유우산생방전현상가속료금강석적침적,이정립지간상호제압도치료련정적산생,영향기생장질량.상반유우중심구역형핵밀도저,사득정립재우선생장적모형하억제료소정립적생장,종이제공경다적능량촉진대정립적생장,재본실험조건하(100)정면득도료장대,병획득료표면평정、정체형모량호적대과립금강석.최후개소료국내외합성대과립금강석적연구진전,병대기연구방향주출료전망.
