高技术通讯
高技術通訊
고기술통신
HIGH TECHNOLOGY LETTERS
2012年
8期
863-868
,共6页
陈学坤%王晓峰%张高飞%阮勇%尤政
陳學坤%王曉峰%張高飛%阮勇%尤政
진학곤%왕효봉%장고비%원용%우정
微机电系统(MEMS)%三维微电极阵列%微型超级电容器%氧化钌%赝电容
微機電繫統(MEMS)%三維微電極陣列%微型超級電容器%氧化釕%贗電容
미궤전계통(MEMS)%삼유미전겁진렬%미형초급전용기%양화조%안전용
采用微加工工艺为MEMS制作了一种基于电化学赝电容原理储能的微型能量存储器件——新型微型超级电容器.通过光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS微加工工艺制作了硅基3D微电极阵列,并在其表面用阴极电沉积法制备了氧化钌功能薄膜.采用循环伏安法和交流阻抗法研究了3D微电极的性能,系统比较了3D微电极与平面微电极的电化学性能,测试结果表明3D微电极的比电容达1.57F· cm-2.基于三维微电极阵列阳极和钌钛金属氧化物阴极组装了微型超级电容器,恒流充放电测试结果表明该电容器的比容量达0.73F·cm-2,比功率达0.50mW·cm-2,比能量达0.36J·cm-2.
採用微加工工藝為MEMS製作瞭一種基于電化學贗電容原理儲能的微型能量存儲器件——新型微型超級電容器.通過光刻、感應耦閤等離子體刻蝕和濺射等MEMS微加工工藝製作瞭硅基3D微電極陣列,併在其錶麵用陰極電沉積法製備瞭氧化釕功能薄膜.採用循環伏安法和交流阻抗法研究瞭3D微電極的性能,繫統比較瞭3D微電極與平麵微電極的電化學性能,測試結果錶明3D微電極的比電容達1.57F· cm-2.基于三維微電極陣列暘極和釕鈦金屬氧化物陰極組裝瞭微型超級電容器,恆流充放電測試結果錶明該電容器的比容量達0.73F·cm-2,比功率達0.50mW·cm-2,比能量達0.36J·cm-2.
채용미가공공예위MEMS제작료일충기우전화학안전용원리저능적미형능량존저기건——신형미형초급전용기.통과광각、감응우합등리자체각식화천사등MEMS미가공공예제작료규기3D미전겁진렬,병재기표면용음겁전침적법제비료양화조공능박막.채용순배복안법화교류조항법연구료3D미전겁적성능,계통비교료3D미전겁여평면미전겁적전화학성능,측시결과표명3D미전겁적비전용체1.57F· cm-2.기우삼유미전겁진렬양겁화조태금속양화물음겁조장료미형초급전용기,항류충방전측시결과표명해전용기적비용량체0.73F·cm-2,비공솔체0.50mW·cm-2,비능량체0.36J·cm-2.
