微机电系统的加工技术及其研究进展
미궤전계통적가공기술급기연구진전
FABRICATION TECHNIQUE OF MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS AND ITS RESEARCH PROGRESS
  • 万方数据
    真空与低温 진공여저온
    VACUUM AND CRYOGENICS
    2003年 1期 1-5 ,共5页

    黄良甫%贾付云

    황량보%가부운

    微机电系统%微机械加工技术%微机械 微機電繫統%微機械加工技術%微機械
    미궤전계통%미궤계가공기술%미궤계
    简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况.
    간요개소미궤전계통중적미궤계가공기술,주요포괄규표면미가공기술、규체미가공기술、광각급전주화복제기술(LIGA)、준LIGA기술화쾌속성형기술등,병종술료저사기술적연구진전정황.
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